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金属研究所 [2]
长春光学精密机械与物... [1]
电子学研究所 [1]
高能物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2009 [1]
2007 [1]
2005 [2]
1977 [1]
学科主题
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共5条,第1-5条
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氩气压强对溅射法制备Ga掺杂ZnO薄膜性能的影响
期刊论文
OAI收割
液晶与显示, 2009, 期号: 6
马仙梅
;
荆海
;
王永刚
;
王龙彦
;
王中健
;
马凯
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2012/09/25
GZO
磁控溅射
氩气压强
纳米粒径RGTO SnO2薄膜的制备及气敏特性研究
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术学报, 2007, 卷号: 26, 期号: 2, 页码: 118-122
张阳
;
何秀丽
;
高晓光
;
李建平
收藏
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提交时间:2010/05/19
二氧化锡薄膜
纳米粒子
RGTO
溅射气压
气敏特性
总气压对直流反应磁控溅射制备TiO_2薄膜的光学性质的影响
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术学报, 2005, 期号: 1, 页码: 69-72
王贺权,巴德纯,沈辉,汪保卫,闻立时
收藏
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提交时间:2012/04/12
二氧化钛薄膜
直流反应磁控溅射
总气压
反射率
总气压对直流反应磁控溅射制备TiO2薄膜的光学性质的影响
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术学报, 2005, 卷号: 25.0, 期号: 1.0, 页码: 65-68
作者:
王贺权
;
巴德纯
;
沈辉
;
汪保卫
;
闻立时
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2021/02/02
TiO2薄膜
光学性质
直流反应磁控溅射
折射率
气压
晶体结构
硅基底
短波
对消
反射率
溅射离子泵的寿命试验
期刊论文
OAI收割
真空技术报导, 1977, 期号: 6, 页码: 80-90
作者:
高见进
;
福本定吉
;
陆经
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提交时间:2015/12/21
质子同步加速器
溅射离子泵
寿命试验
泵单元
氢气压力
氢分子
阴极板
注入器
气流量
表面位