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自组织量子点与微腔耦合结构单光子发光器件制备 学位论文  OAI收割
博士, 北京, 北京: 中国科学院研究生院, 中国科学院研究生院, 2014, 2014
作者:  
王莉娟
  |  收藏  |  浏览/下载:24/0  |  提交时间:2014/05/28
增强MIMO OFDM无线通信仿真 期刊论文  OAI收割
系统仿真学报, 2010, 期号: 08
杨秀梅; 熊勇; 贾国庆
收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2012/01/06
总剂量辐射下的NMOS/SOI器件背栅阈值电压漂移模型 期刊论文  OAI收割
功能材料与器件学报, 2010, 期号: 04
贺威; 张正选
收藏  |  浏览/下载:29/0  |  提交时间:2012/01/06
相变存储器电子束曝光工艺研究与新结构制备 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2009
吕士龙
收藏  |  浏览/下载:41/0  |  提交时间:2012/03/06
HSQ用于电子束曝光的性能分析 期刊论文  OAI收割
微细加工技术, 2008, 期号: 4, 页码: 4,10-13
作者:  
赵珉;  陈宝钦;  刘明;  谢常青;  朱效立
  |  收藏  |  浏览/下载:39/0  |  提交时间:2010/05/27
低能电子束制备硅基纳米薄膜微结构研究 期刊论文  OAI收割
真空, 2007, 卷号: 44, 期号: 6, 页码: 35-38
陈炯枢; 陈学康; 刘相; 刘建喜
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2013/11/01
电子束曝光机激光定位精密工件台测量系统研究 学位论文  OAI收割
硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006
乔俊仙
收藏  |  浏览/下载:118/0  |  提交时间:2013/11/19
高斯电子束曝光系统 期刊论文  OAI收割
电子工业专用设备, 2005, 卷号: 34, 期号: 2, 页码: 4,42-45
作者:  
陈大鹏;  杨清华;  刘明;  叶甜春
  |  收藏  |  浏览/下载:31/0  |  提交时间:2010/05/26
SAL601负性电子束抗蚀剂纳米级集成电路加工 期刊论文  OAI收割
微纳电子技术, 2003, 卷号: 40, 期号: 7, 页码: 3,167-169
作者:  
徐秋霞;  王云翔;  刘明;  陈宝钦
  |  收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2010/05/25
电子束曝光UV3正性抗蚀剂的工艺研究 期刊论文  OAI收割
微电子学, 2003, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 5,485-489
作者:  
刘明;  殷华湘;  王云翔;  徐秋霞
  |  收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2010/05/25