机构

• 微电子研究所 [13]
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采集方式

• OAI收割 [20]

内容类型

• 期刊论文 [16]
• 学位论文 [4]

发表日期

• 2014 [1]
• 2010 [2]
• 2009 [1]
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学科主题

• 半导体器件 [1]
• 材料科学与物理化学 [1]

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浏览/检索结果: 共20条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 自组织量子点与微腔耦合结构单光子发光器件制备 学位论文  OAI收割 博士, 北京, 北京: 中国科学院研究生院, 中国科学院研究生院, 2014, 2014 作者:  王莉娟   |  收藏  |   增强MIMO OFDM无线通信仿真 期刊论文  OAI收割 系统仿真学报, 2010, 期号: 08 杨秀梅; 熊勇; 贾国庆 收藏  |   总剂量辐射下的NMOS/SOI器件背栅阈值电压漂移模型 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2010, 期号: 04 贺威; 张正选 收藏  |   相变存储器电子束曝光工艺研究与新结构制备 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009 吕士龙 收藏  |   HSQ用于电子束曝光的性能分析 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2008, 期号: 4, 页码: 4，10-13 作者:  赵珉;  陈宝钦;  刘明;  谢常青;  朱效立   |  收藏  |   低能电子束制备硅基纳米薄膜微结构研究 期刊论文  OAI收割 真空, 2007, 卷号: 44, 期号: 6, 页码: 35-38 陈炯枢; 陈学康; 刘相; 刘建喜 收藏  |   电子束曝光机激光定位精密工件台测量系统研究 学位论文  OAI收割 硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006 乔俊仙 收藏  |   高斯电子束曝光系统 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2005, 卷号: 34, 期号: 2, 页码: 4，42-45 作者:  陈大鹏;  杨清华;  刘明;  叶甜春   |  收藏  |   SAL601负性电子束抗蚀剂纳米级集成电路加工 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2003, 卷号: 40, 期号: 7, 页码: 3，167-169 作者:  徐秋霞;  王云翔;  刘明;  陈宝钦   |  收藏  |   电子束曝光UV3正性抗蚀剂的工艺研究 期刊论文  OAI收割 微电子学, 2003, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 5，485-489 作者:  刘明;  殷华湘;  王云翔;  徐秋霞   |  收藏  |