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微电子研究所 [13]
上海微系统与信息技术... [4]
光电技术研究所 [1]
半导体研究所 [1]
兰州化学物理研究所 [1]
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OAI收割 [20]
内容类型
期刊论文 [16]
学位论文 [4]
发表日期
2014 [1]
2010 [2]
2009 [1]
2008 [1]
2007 [1]
2006 [1]
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学科主题
半导体器件 [1]
材料科学与物理化学 [1]
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自组织量子点与微腔耦合结构单光子发光器件制备
学位论文
OAI收割
博士, 北京, 北京: 中国科学院研究生院, 中国科学院研究生院, 2014, 2014
作者:
王莉娟
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2014/05/28
自组织量子点+电子束曝光+微柱+高折射率对比光栅+单光子
自组织量子点+电子束曝光+微柱+高折射率对比光栅+单光子
增强MIMO OFDM无线通信仿真
期刊论文
OAI收割
系统仿真学报, 2010, 期号: 08
杨秀梅
;
熊勇
;
贾国庆
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/01/06
扫描电子显微镜(SEM)
电子束曝光(EBL)
图形发生器
纳米结构
总剂量辐射下的NMOS/SOI器件背栅阈值电压漂移模型
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2010, 期号: 04
贺威
;
张正选
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2012/01/06
超导纳米线单光子探测器
电子束曝光
反应离子刻蚀
探测效率
相变存储器电子束曝光工艺研究与新结构制备
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2009
吕士龙
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浏览/下载:41/0
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提交时间:2012/03/06
相变存储器
电子束曝光
混合光刻
新结构
新型绝热层
HSQ用于电子束曝光的性能分析
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 2008, 期号: 4, 页码: 4,10-13
作者:
赵珉
;
陈宝钦
;
刘明
;
谢常青
;
朱效立
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浏览/下载:39/0
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提交时间:2010/05/27
Hsq(hydrogen Silsesquioxane)
电子束曝光技术
抗蚀剂工艺
邻近效应
低能电子束制备硅基纳米薄膜微结构研究
期刊论文
OAI收割
真空, 2007, 卷号: 44, 期号: 6, 页码: 35-38
陈炯枢
;
陈学康
;
刘相
;
刘建喜
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2013/11/01
电子束直写曝光
选择性化学沉积
图案化
electron beam direct- write exposure
selective chemical deposition
patternization
电子束曝光机激光定位精密工件台测量系统研究
学位论文
OAI收割
硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006
乔俊仙
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浏览/下载:118/0
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提交时间:2013/11/19
激光干涉仪
精密工件台
电子束曝光机
误差分析
误差补偿
高斯电子束曝光系统
期刊论文
OAI收割
电子工业专用设备, 2005, 卷号: 34, 期号: 2, 页码: 4,42-45
作者:
陈大鹏
;
杨清华
;
刘明
;
叶甜春
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2010/05/26
电子束曝光
纳米器件
掩模
邻近效应
SAL601负性电子束抗蚀剂纳米级集成电路加工
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2003, 卷号: 40, 期号: 7, 页码: 3,167-169
作者:
徐秋霞
;
王云翔
;
刘明
;
陈宝钦
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2010/05/25
Sal601
负性电子束
抗蚀剂
纳米级集成电路
曝光
电子束曝光UV3正性抗蚀剂的工艺研究
期刊论文
OAI收割
微电子学, 2003, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 5,485-489
作者:
刘明
;
殷华湘
;
王云翔
;
徐秋霞
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2010/05/25
电子束曝光
凹槽图形 Uv3
正性抗蚀剂
曝光延迟效应
光刻