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	宽通带宽截止带通滤光片研究期刊论文 OAI收割人工晶体学报, 2014, 期号: 5, 页码: 1296-1301 作者: 王彤彤; 李帅; 高劲松收藏 \| 浏览/下载：41/0 \| 提交时间：2015/04/17 光学薄膜电子束蒸发物理气相沉积透过率
	基于ZF6基底的可见光宽谱带高性能增透膜期刊论文 OAI收割中国光学, 2013, 期号: 04, 页码: 551-556 作者: 曲锋; 孙强; 李帅收藏 \| 浏览/下载：32/0 \| 提交时间：2014/03/07 光学薄膜增透膜电子束蒸发物理气相沉积透过率
	QF1基底上可见光区宽带增透膜研究期刊论文 OAI收割人工晶体学报, 2013, 期号: 06, 页码: 1104-1108 作者: 王彤彤; 李帅; 高劲松收藏 \| 浏览/下载：46/0 \| 提交时间：2014/03/07 光学薄膜电子束蒸发物理气相沉积透过率
	单层二氧化铪(HfO_2)薄膜的特性研究期刊论文 OAI收割光电工程, 2012, 卷号: 39, 期号: 2, 页码: 134-140 作者: 艾万君; 熊胜明收藏 \| 浏览/下载：26/0 \| 提交时间：2016/11/21 电子束蒸发离子束辅助沉积离子束反应溅射 HfO2薄膜薄膜特性
	电子束蒸发自动控制系统的实验研究学位论文 OAI收割博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2010 作者: 王宁收藏 \| 浏览/下载：13/0 \| 提交时间：2016/11/28 光学薄膜、电子束蒸发自动控制、自动扫描、沉积速率控制
	电子束蒸发镀膜速率控制研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2008 作者: 王善成收藏 \| 浏览/下载：38/0 \| 提交时间：2016/11/28 光学薄膜电子束蒸发沉积速率控制 PID
	SR-FEL 宽带腔镜与双带腔镜光学膜系实验研究与研制期刊论文 OAI收割高能物理与核物理, 2007, 卷号: 31, 期号: 4, 页码: 405-408 高怀林; 王乃彦; 王东蕾; 王永收藏 \| 浏览/下载：26/0 \| 提交时间：2010/05/19 储存环自由电子激光腔镜光学膜系电子束蒸发沉积离子束溅射沉积
	沉积温度对电子束蒸发HfO2薄膜残余应力的影响期刊论文 OAI收割中国激光, 2006, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 827, 831 申雁鸣; 贺洪波; 邵淑英; 范正修收藏 \| 浏览/下载：794/124 \| 提交时间：2009/09/22 薄膜 HfO2薄膜残余应力沉积温度基底电子束蒸发
	ZrO2／SiO2多层膜中膜厚组合周期数及基底材料对残余应力的影响期刊论文 OAI收割物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 7, 页码: 3312, 3316 邵淑英; 范正修; 邵建达收藏 \| 浏览/下载：1003/181 \| 提交时间：2009/09/22 残余应力 ZrO2/SiO2 multilayers SiO2 residual stress ZrO2 periods of repeating thickness 多层膜周期数组合膜厚基底材料 X射线衍射技术玻璃基底电子束蒸发光学干涉仪应力值沉积条件曲率半径测量分析石英基底变化趋势结构应变结晶程度相互作用折射率熔石英压应力微结构