机构

• 电子学研究所 [3]
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• 沈阳自动化研究所 [1]
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采集方式

• OAI收割 [6]

内容类型

• 期刊论文 [3]
• 学位论文 [2]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2020 [1]
• 2016 [1]
• 2010 [1]
• 2007 [1]
• 2006 [1]
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学科主题

• 传感器 [1]

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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 柔性压力传感器阵列及其信号采集系统研究 期刊论文  OAI收割 农业机械学报, 2020, 卷号: 51, 期号: 8, 页码: 400-405, 413 作者:  朱银龙;  华超;  苏晓芳;  耿令波;  胡志强   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2020/05/24 柔性压力传感器  电活性聚合物材料EAP  敏感材料  电容数字转换器   静电激励谐振式MEMS气压传感器的关键技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 谢波 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2016/06/04 谐振式压力传感器  静电激励/电容检测  阳极键合真空封装  SOI通孔引线  Au电极无掩膜制作  温度自补偿   探空微型电容压力传感器设计 会议论文  OAI收割 第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003 武宇; 赵湛; 方震; 陈超; 张博军 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2010/09/04 电容压力传感器  MEMS   MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2007, 卷号: 44, 期号: 7, 页码: 249-251 庞程; 赵湛; 杜利东 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2010/05/19 电容压力传感器  各向异性腐蚀  阳极键合  反应离子深刻蚀   新型厚膜陶瓷电容式压力传感器感压元件研究 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2006, 卷号: 025 -   |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2020/10/26 厚膜  电容式压力传感器  感压元件   电容型微差压伺服传感器设计和制作 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院上海冶金研究所  , 2000 韩明   收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/03/06 传感器设计:6630  微差压传感器:5763  电容型:4463  伺服:1240  驱动光束不均匀:596  微机械:514  压力传感器:497  主要工艺流程:462  电容式:391  兼容工艺:340