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基于PDMS芯模的微电铸技术及其成形机理研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2021
作者:
周波
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浏览/下载:235/0
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提交时间:2022/12/15
微电铸
金属微型零件
弹性聚合物芯模
界面润湿性
液相传质
毫米波H10到H02o波导模式变换链器设计与模拟
会议论文
OAI收割
中国电子学会微波学会第五届全国毫米波亚毫米波学术会议, 2004
薛谦忠
;
张世昌
;
刘濮鲲
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2010/09/04
毫米波
模式转换器
数值计算
电磁模拟
数控加工
微细加工
电铸技术
模式变换链
平面电磁型微电机定转子制作工艺
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2009, 期号: 9
作者:
吴一辉
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2012/09/25
微电机
大深宽比
平面线圈
深刻蚀
微电铸
薄膜厚埋层SOI材料的新制备技术
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2008, 期号: 07
魏星
;
王湘
;
陈猛
;
陈静
;
张苗
;
王曦
;
林成鲁
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/01/06
微机电系统
准LIGA
微电铸
MEMS电磁执行器CoNiMnP永磁体阵列的制备
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2003, 卷号: 40, 期号: 7, 页码: 385-387
张博军,赵湛,陈绍凤
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提交时间:2010/09/02
MEMS执行器 电铸 永磁体阵列
LIGA技术基础研究
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2000, 期号: 01, 页码: 38-41
作者:
梁静秋
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2013/03/11
LIGA技术
光刻
掩膜
电铸
学科间高度交叉融合是21世纪科技发展的特征
期刊论文
OAI收割
群言, 1996, 期号: 8, 页码: 5--7
作者:
冼鼎昌
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2015/12/07
科技发展
双螺旋结构
微机械加工
同步辐射
电铸成型
DNA
光刻胶
光刻工艺
减除法
结构分析
用于微机械工艺的精密电铸设备
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 1995, 期号: 03, 页码: 60-63
陈英俊
;
徐峰林
;
宣明
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2013/03/11
微型机械
LIGA工艺
精密电铸设备
电铸在LIGA技术中的应用
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 1995, 期号: 3, 页码: 49-52
作者:
伊福廷
;
晋明
;
吴坚武
;
冼鼎昌
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2015/12/07
微细加工
LIGA技术
电铸
微细加工新技术—LIGA技术
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 1993, 期号: 4, 页码: 1--7
作者:
伊福廷
;
吴坚武
;
冼鼎昌
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2015/12/07
同步辐射曝光
电铸
塑铸
微细加工