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浏览/检索结果: 共30条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 高衍射效率曲面光栅摆动刻蚀技术研究 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者:  沈晨   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2019/09/23 曲面光栅离子束刻蚀机  三维工作台  凸面光栅  摆动刻蚀  硅改性RB-SiC   大高宽比纳米硅立柱的感应耦合等离子体刻蚀工艺优化 期刊论文  OAI收割 强激光与粒子束, 2017, 期号: 7, 页码: "77-81" 作者:  李欣;  刘建朋;  陈烁;  张思超;  邓彪   |  收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2018/08/17 Hsq  深反应离子刻蚀  硅纳米柱  高宽比  硬x射线   硅中阶梯光栅的湿法刻蚀技术 期刊论文  OAI收割 长春工业大学学报, 2015, 期号: 04, 页码: 390-394 作者:  焦庆斌 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/07/06 硅中阶梯光栅  湿法刻蚀  衍射效率   小顶角平台硅中阶梯光栅光刻胶掩模制备工艺研究 期刊论文  OAI收割 长春工业大学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 288-292 作者:  焦庆斌 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/07/06 紫外曝光  倒置热熔  硅中阶梯光栅  湿法刻蚀   电化学刻蚀多孔硅阵列的形貌研究 期刊论文  OAI收割 电子元件与材料, 2015, 期号: 11, 页码: 48-52 作者:  陈婷婷;  顾牡;  于怀娜;  刘小林;  黄世明 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2016/06/06 电化学刻蚀  多孔硅阵列  形貌  孔径调控  模板引导  X射线转换屏   谐振式微型电场传感器制作工艺研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2013 刘伟 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2013/06/09 谐振式  绝缘体上硅  微型电场传感器  聚酰亚胺  深度反应离子刻蚀   硕士论文-纳米针尖的制备及其场发射性能的研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013 作者:  玛丽娜·阿西木汗 收藏  |  浏览/下载：80/0  |  提交时间：2015/10/12 硅纳米针尖  氯化铯自组装技术  干刻蚀  光刻技术   PDMS表面改性和辐射交联及其在软刻蚀技术中的应用 学位论文  OAI收割 博士, 上海应用物理研究所: 中国科学院上海应用物理研究所, 2009 杨海军 收藏  |  浏览/下载：108/0  |  提交时间：2012/04/11 聚二甲基硅氧烷(PDMS)  表面改性  辐射交联  软刻蚀  转印   平滑陡直的Si深槽刻蚀方法 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2009, 卷号: 34, 期号: 3, 页码: 4，214-216,220 作者:  张育胜   |  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2010/06/01 硅深槽刻蚀  电感耦合等离子体bosch工艺  化学平衡   硅深槽ICP刻蚀中刻蚀条件对形貌的影响 期刊论文  OAI收割 微电子学, 2009, 卷号: 39, 期号: 5, 页码: 4，729-732 作者:  万里兮;  吕垚;  李宝霞   |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/06/01 Icp  硅刻蚀  深槽刻蚀  刻蚀形貌  刻蚀速率  选择比