机构

• 上海微系统与信息技术... [5]
• 长春光学精密机械与物... [4]
• 广州能源研究所 [3]
• 金属研究所 [1]
• 国家空间科学中心 [1]
• 微电子研究所 [1]
• 更多

采集方式

• OAI收割 [19]

内容类型

• 期刊论文 [9]
• 学位论文 [6]
• 会议论文 [4]

发表日期

• 2016 [3]
• 2015 [1]
• 2013 [1]
• 2012 [1]
• 2011 [1]
• 2010 [1]
• 更多

学科主题

• 半导体器件 [1]
• 热能工程 [1]
• 红外基础研究 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共19条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 纳米金刚石及其复合材料的制备和场发射 期刊论文  OAI收割 2016 作者:  王维彪;  梁静秋;  梁中翥;  曾乐勇;  夏玉学   |  收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2017/09/17 纳米金刚石  场发射  高分辨透射电镜  石墨烯  高真空  硅衬底  特性测试  扫描电镜  器件制备   毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作 期刊论文  OAI收割 压电与声光, 2016, 期号: 4, 页码: 562-565 作者:  李加东;  张轲;  吴东岷;  苗斌   |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2017/09/17 力值计量  悬臂梁  弹性系数  微机电系统  绝缘衬底上的硅(Soi)   原子力显微镜探针批量制备工艺分析 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2016, 期号: 2, 页码: 119-123 作者:  李加东;  吴东岷;  张轲;  苗斌   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2017/09/17 原子力显微镜(Afm)  探针  绝缘衬底上的硅(Soi)  自锐式  曲率半径   硅基III-V族横向纳米线晶体管的工艺研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015 洪文婷 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2015/06/02 硅基叉指结构图形衬底+III-V族纳米线+选区横向生长+费米能级钉扎效应+界面态密度   基于脉冲激光单粒子效应的二次光斑研究 期刊论文  OAI收割 原子能科学技术, 2013, 卷号: 47, 期号: 12, 页码: 2361-2364 作者:  姜昱光;  封国强;  朱翔;  马英起;  上官士鹏 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2015/10/29 二次光斑  脉冲激光  硅衬底  单粒子效应   基于XeF_2硅刻蚀工艺的低阻硅衬底低损耗共面波导 期刊论文  OAI收割 固体电子学研究与进展, 2012, 期号: 5, 页码: 456-462 刘米丰; 熊斌; 徐德辉; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：45/0  |  提交时间：2013/02/22 共面波导  插入损耗  二氟化氙  硅腐蚀  低阻硅衬底   多晶硅薄膜太阳能电池的研究 学位论文  OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2011 作者:  高永超   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/09/11 多晶硅薄膜  4n纯度的多晶硅衬底  快速热化学气相沉积  液相外延  太阳能电池   Er2O3/Si薄膜界面层研究 会议论文  OAI收割 2010年全国电子显微学会议暨第八届海峡两岸电子显微学研讨会, 杭州, 2010-10-08 汪雪; 朱银莲; 马秀良 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2013/08/21 半导体器件  稀土氧化物  硅衬底   硅基薄膜复合衬底无源器件建模及其关键技术研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009 周紫卓 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2012/03/06 硅基多层薄膜复合衬底  　Al2O3  　BCB  　传输线  　CPW滤波器　   硅基微结构上的GaN外延生长研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 王曦   收藏  |  浏览/下载：50/0  |  提交时间：2012/03/06 硅基微结构  GaN  热应力  SOI  柔性衬底