机构

• 电子学研究所 [6]
• 合肥物质科学研究院 [1]

采集方式

• OAI收割 [7]

内容类型

• 期刊论文 [4]
• 学位论文 [3]

发表日期

• 2018 [1]
• 2017 [3]
• 2004 [1]
• 2001 [1]
• 2000 [1]

学科主题

• Sensor [2]
• 传感器 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序 改善硅谐振压力传感器温度特性的方法研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2018 -   |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2018/06/04 硅谐振压力传感器  热应力有限元分析  低应力组装  应力隔离结构   航空用电磁式硅谐振压力传感器检测电路及仪表研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 朱林 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2017/06/08 硅谐振压力传感器  温度自补偿  检测电路  仪表电路   航空用电磁式硅谐振压力传感器检测电路及仪表研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 朱林 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2017/06/07 硅谐振压力传感器  温度自补偿  检测电路  仪表电路   硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2017, 卷号: 000 作者:  平文;  孔德义;  单建华   |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2020/10/26 谐振式压力传感器  敏感结构  谐振梁  硅膜  模态仿真  灵敏度   热激励硅谐振式压力传感器的研制 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2004, 期号: 4, 页码: 1-3 高晓童，崔大付，陈德勇，王利，王蕾 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2010/09/02 谐振梁 压力传感器 多孔硅 热激励 牺牲层   微型硅谐振式压力传感器的研制 期刊论文  OAI收割 传感器技术, 2001, 卷号: 20, 期号: 2, 页码: 49-51 陈德勇，崔大付，王利，于中尧，韩泾鸿 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2010/09/02 微电子机械加工技术 硅谐振梁 压力传感器   微结构谐振梁式压力传感器研究 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2000, 卷号: 13, 期号: 4, 页码: 258-259 陈德勇，崔大付，王利，韩泾鸿 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2010/09/02 微电子机械加工硅梁谐振器谐振式压力传感器