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OAI收割 [23]
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会议论文 [1]
成果 [1]
发表日期
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2018 [1]
2015 [2]
2013 [1]
2012 [1]
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学科主题
光学 [1]
全息技术;仪器仪表基... [1]
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共23条,第1-10条
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基于水平集方法的离子束刻蚀碲镉汞的轮廓演变模拟
期刊论文
OAI收割
红外与毫米波学报, 2019, 卷号: 38, 期号: 3, 页码: 331-337
作者:
刘向阳
;
徐国庆
;
贾嘉
;
孙艳
;
李向阳
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浏览/下载:345/0
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提交时间:2019/11/13
碲镉汞
离子束
刻蚀轮廓
水平集方法
刻蚀速度减缓
深宽比
高衍射效率曲面光栅摆动刻蚀技术研究
学位论文
OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
沈晨
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2019/09/23
曲面光栅离子束刻蚀机
三维工作台
凸面光栅
摆动刻蚀
硅改性RB-SiC
反应离子束刻蚀工艺制作闪耀罗兰光栅
期刊论文
OAI收割
纳米技术与精密工程, 2015, 期号: 04, 页码: 239-243
作者:
谭鑫
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2016/07/06
衍射效率
反应离子束刻蚀
粗糙度
罗兰光栅
宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2015, 期号: 07, 页码: 1978-1983
作者:
吴娜
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2016/07/06
全息光栅
宽波段光栅
离子束刻蚀
刻蚀模拟
基于解析分区法设计闪耀全息凹面光栅
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2303-2308
谭鑫
;
沈晨
;
吴娜
;
张方程
;
巴音贺希格
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浏览/下载:53/0
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提交时间:2014/03/07
凹面光栅
闪耀光栅
分区法
衍射效率
离子束刻蚀
闪耀全息光栅离子束刻蚀工艺模拟及实验验证
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2012, 期号: 09, 页码: 1904-1912
吴娜
;
谭鑫
;
巴音贺希格
;
唐玉国
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2013/03/11
闪耀光栅
全息光栅
衍射效率
刻蚀模拟
离子束刻蚀
平面全息离子束刻饰光栅研制
成果
OAI收割
吉林省科学技术进步奖: 一等奖, 2011
唐玉国
;
巴音贺希格
;
齐向东
;
李文昊
;
谭鑫
;
于宏柱
;
甘泽龙
;
崔继承
;
冯树龙
;
张方程
;
王长庚
;
王丽娟
;
张成山
;
段佩华
;
丁东
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浏览/下载:184/0
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提交时间:2015/02/12
全息光栅
莫尔条纹
离子束刻蚀
衍射效率
基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 2007, 期号: 1
李文昊
;
巴音贺希格
;
齐向东
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2012/09/25
全息光栅
光刻胶热熔法
离子束刻蚀
原子力显微镜
低能氩离子束对多孔铝阳极氧化膜表面的刻蚀效应研究
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2006, 期号: 3
王森
;
俞国军
;
巩金龙
;
李勤涛
;
朱德彰
;
朱志远
收藏
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2012/05/23
多孔铝阳极氧化膜
离子束刻蚀
曲面保护高量程加速度传感器阻尼特性研究
期刊论文
OAI收割
光电工程, 2006, 期号: 09
杨尊先
;
李昕欣
;
于映
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2012/01/06
微/纳机械系统纳米沟道离子束刻蚀