中国科学院机构知识库网格系统: 检索

浏览/检索结果: 共9条，第1-9条

帮助

条数/页：排序方式：
	接近式表面等离子体透镜光刻分辨力增强原理和方法研究学位论文 OAI收割博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 作者: 张伟收藏 \| 浏览/下载：34/0 \| 提交时间：2016/12/30 表面等离子体光刻，衍射极限，工作距，离轴照明，贝塞尔光束，双曲色散超材料
	一种增大工艺窗口的光源优化方法期刊论文 OAI收割激光与光电子学进展, 2015, 卷号: 52, 期号: 10, 页码: 151-157 作者: 江海波收藏 \| 浏览/下载：73/0 \| 提交时间：2016/11/01 成像系统光学光刻离轴照明光源优化
	非理想照明光瞳对光刻成像质量的影响期刊论文 OAI收割光电工程, 2013, 卷号: 40, 期号: 2, 页码: 87-92 作者: 陈安; 林妩媚; 江海波收藏 \| 浏览/下载：11/0 \| 提交时间：2016/11/01 光刻仿真非理想照明光瞳偏心离轴照明
	极紫外光刻离轴照明技术研究期刊论文 OAI收割光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 147-152 作者: 金春水; 王丽萍收藏 \| 浏览/下载：46/0 \| 提交时间：2013/03/11 X射线光学极紫外光刻分辨率增强离轴照明阴影效应光刻胶
	激光投影系统中的均匀照明研究学位论文 OAI收割博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009 廖志杰收藏 \| 浏览/下载：187/0 \| 提交时间：2013/11/19 柯拉照明离轴照明光棒光学混合器光学均匀器复眼偏振散斑位相板激光显示
	侧墙铬衰减型新结构移相掩模的应用期刊论文 OAI收割半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 增刊, 页码: 340-342 作者: 谢常青; 刘明; 陈宝钦; 叶甜春 \| 收藏 \| 浏览/下载：16/0 \| 提交时间：2010/05/26 193nm光学光刻衰减型移相掩模离轴照明数值孔径 Prolith
	照明光瞳非对称性对光刻成像质量的影响期刊论文 OAI收割光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 6, 页码: 885, 890 郭立萍; 王向朝; 黄惠杰收藏 \| 浏览/下载：1186/201 \| 提交时间：2009/09/18 仪器光刻光刻仿真离轴照明光瞳非对称性
	193nm光刻散射条技术研究期刊论文 OAI收割微电子学, 2005, 卷号: 35, 期号: 4, 页码: 4，360-363 作者: 康晓辉; 张立辉; 王德强; 范东升; 谢常青 \| 收藏 \| 浏览/下载：18/0 \| 提交时间：2010/05/26 光刻亚分辨率辅助图形散射条离轴照明分辨率增强光学临近效应校正
	光学光刻中的离轴照明技术期刊论文 OAI收割激光杂志, 2005, 卷号: 26, 期号: 1, 页码: 23, 25 郭立萍; 黄惠杰; 王向朝收藏 \| 浏览/下载：1562/244 \| 提交时间：2009/09/18 光学光刻离轴照明分辨率焦深 Profith仿真