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OAI收割 [18]
内容类型
期刊论文 [14]
学位论文 [4]
发表日期
2022 [2]
2020 [1]
2018 [1]
2014 [1]
2012 [1]
2011 [1]
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学科主题
材料科学与物理化学 [4]
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共18条,第1-10条
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金属管件内表面防腐耐磨一体化 DLC薄膜的构筑
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2022
作者:
魏徐兵
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2023/09/27
类金刚石碳基薄膜,等离子体增强化学气相沉积,管内表面,防腐耐磨一体化,异形件
非晶含氢碳薄膜本征结构对退火行为的影响
期刊论文
OAI收割
表面技术, 2022, 卷号: 51, 期号: 7, 页码: 98-106
作者:
贾倩
;
张斌
;
赖振国
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2023/12/08
非晶含氢碳薄膜
退火
双极脉冲
直流脉冲
等离子体增强化学气相沉积
利用PECVD 快速沉积超厚类金刚石碳基薄膜技术
期刊论文
OAI收割
真空与低温, 2020, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 402-409
作者:
魏徐兵
;
尚伦霖
;
鲁志斌
;
张广安
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2020/11/30
等离子体增强化学气相沉积
超厚类金刚石碳膜
快速沉积
耐磨损
耐腐蚀
用于柔性电子器件的有机无机交替结构薄膜封装的研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所, 2018
作者:
吴杰
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2019/03/28
柔性电子,薄膜封装,有机无机交替结构,水氧阻隔性,原子层沉积,等离子体增强化学气相沉积
超厚类金刚石碳基薄膜多层界面特征及其摩擦学特性
学位论文
OAI收割
理学博士: 中国科学院大学, 2014
王军军
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浏览/下载:94/0
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提交时间:2014/11/21
等离子体增强化学气相沉积
超厚类金刚石薄膜
超高承载
摩擦学性能
Plasma-enhanced chemical vapor deposition
Super-thick diamond-likecarbon film
Ultra-high load-bearing capacity
Tribological property
PECVD裂解SiCl4低温快速沉积氢化纳米晶硅薄膜的研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院金属研究所, 2012
张林
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提交时间:2013/04/12
等离子体增强化学气相沉积法
氢化纳米硅薄膜
微观结构
PECVD
nc-Si:H film
microstructure
薄膜太阳能电池异型布拉格背反射结构设计与制作
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2011, 期号: 07
周舟
;
周健
;
孙晓玮
;
谈惠祖
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2012/04/13
薄膜
薄膜太阳能电池
异型布拉格背反射镜
迭代法
等离子体增强化学气相沉积
用等离子体增强化学气相沉积技术制备类金刚石碳薄膜的摩擦磨损性能研究
期刊论文
OAI收割
摩擦学学报, 2005, 卷号: 25, 期号: 4, 页码: 298-302
作者:
李红轩
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提交时间:2014/03/03
等离子体增强化学气相沉积
类金刚石碳薄膜
结构
摩擦磨损性能
PECVD
DLC film
structure
friction and wear behavior
包埋于氮化硅薄膜中的硅团簇的光致发光特性
期刊论文
OAI收割
发光学报, 2004, 期号: 06, 页码: 705-709
作者:
申德振
;
张振中
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提交时间:2013/03/11
等离子体增强化学气相沉积
光致发光
硅团簇
量子限制效应
基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术学报, 2004, 期号: 1, 页码: 82-85
蔺增,巴德纯,王志,闻立时
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提交时间:2012/04/12
类金刚石薄膜
不锈钢
射频等离子体增强化学气相沉积
摩擦
磨损