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AlGaN基深紫外激光器材料的MOCVD生长研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
陈翔
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浏览/下载:56/0
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提交时间:2017/06/05
AlN
MOCVD
纳米图形化侧向外延
AlGaN基深紫外激光器
光泵浦激射
纳米压印光刻技术
AlGaN纳米柱
硕士论文-纳米针尖的制备及其场发射性能的研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013
作者:
玛丽娜·阿西木汗
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提交时间:2015/10/12
硅纳米针尖
氯化铯自组装技术
干刻蚀
光刻技术
基于多层膜结构的亚波长光栅研究
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2012, 卷号: 61, 期号: 10, 页码: 178-183
作者:
梁高峰
;
赵青
;
陈欣
;
王长涛
;
赵泽宇
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提交时间:2016/11/22
表面等离子体
超分辨成像
纳米光刻技术
基于介电泳机理的金纳米颗粒传感器装配方法
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2011, 卷号: 48, 期号: 12, 页码: 809-815
作者:
杨洋
;
周磊
;
董再励
;
曲艳丽
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提交时间:2012/05/29
介电泳(DEP)
光刻技术
金纳米颗粒
纳米传感器
纳米器件的组装与装配
应用于纳米制造的新型电子束抗蚀剂Calixarene的工艺研究
期刊论文
OAI收割
纳米技术与精密工程, 2009, 卷号: 7, 期号: 3, 页码: 4,275-278
作者:
谢常青
;
安南
;
刘明
;
陈宝钦
;
任黎明
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提交时间:2010/06/01
纳米制造
电子束光刻
工艺技术
电子束抗蚀剂
Calixarene
光学和电子束曝光系统之间的匹配与混合光刻技术
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 增刊, 页码: 1-6
作者:
陈宝钦
;
刘明
;
徐秋霞
;
薛丽君
;
李金儒
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浏览/下载:59/0
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提交时间:2010/05/26
微光刻技术
微纳米加工技术
电子束直写
匹配与混合光刻技术
微纳加工技术在微纳电子器件领域的应用
期刊论文
OAI收割
物理, 2006, 卷号: 35, 期号: 1, 页码: 47-50
作者:
刘明
;
陈宝钦
;
谢常青
;
王丛舜
;
龙世兵
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2010/05/26
纳米加工
纳米器件
微纳加工技术
光学光刻技术
纳米岛光刻技术及其应用
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 2004, 期号: 4, 页码: 22-26
作者:
伊福廷
;
Mino Green
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提交时间:2015/12/25
光刻
纳米岛
纳米技术
微加工