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双光子微纳加工技术结合化学镀工艺制备三维金属微弹簧结构
期刊论文
OAI收割
影像科学与光化学, 2014, 期号: 6, 页码: 542-549
作者:
贾雁鹏
;
郑美玲
;
董贤子
;
赵震声
;
段宣明
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提交时间:2018/03/16
双光子微纳加工技术
化学镀
三维金属微纳米结构
非传统微纳米加工技术在微米阵列制备中的应用
学位论文
OAI收割
博士, 中国科学院长春应用化学研究所: 中国科学院研究生院, 2013
作者:
柯曦
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提交时间:2016/09/14
软刻蚀技术
“蘸笔”纳米加工技术
微米阵列
硅基微纳复合降噪与电能转换器件的研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
吴少华
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提交时间:2012/06/08
微电子机械系统
微米纳米复合加工技术
硅基微纳米降噪
微纳系统能量自收集
降噪与能量收集复合器件
微纳尺度流动实验研究进展
会议论文
OAI收割
第八届全国实验流体力学学术会议, 中国广东广州, 2010-12-26
作者:
余群
;
孔高攀
;
王绪伟
;
李战华
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提交时间:2014/04/02
流动研究
介绍
剪切流场
纳米粒子
复合管道
浓度极化
电场驱动
加工技术
生物芯片
分布特性
氯化铯纳米岛生长技术
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2008, 期号: 1, 页码: 189-192
作者:
罗亮
;
伊福廷
;
张菊芳
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提交时间:2015/12/25
纳米岛
自组装技术
NEMS
纳米加工技术
硕士论文-氯化铯纳米岛生长及光刻技术研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2008
作者:
罗亮
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2015/10/12
纳米岛
自组装技术
NEMS
纳米加工技术
反应离子刻蚀
光学和电子束曝光系统之间的匹配与混合光刻技术
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 增刊, 页码: 1-6
作者:
陈宝钦
;
刘明
;
徐秋霞
;
薛丽君
;
李金儒
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浏览/下载:59/0
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提交时间:2010/05/26
微光刻技术
微纳米加工技术
电子束直写
匹配与混合光刻技术
微纳加工技术在微纳电子器件领域的应用
期刊论文
OAI收割
物理, 2006, 卷号: 35, 期号: 1, 页码: 47-50
作者:
刘明
;
陈宝钦
;
谢常青
;
王丛舜
;
龙世兵
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提交时间:2010/05/26
纳米加工
纳米器件
微纳加工技术
光学光刻技术
面向21世纪的纳米电子学
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2006, 卷号: 43, 期号: 1, 页码: 1-7
作者:
傅广生
;
赵新为
;
彭英才
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提交时间:2010/05/26
纳米电子学
发展路径
量子化效应
纳米加工技术
纳米量子器件
基于微纳米加工技术的微型电化学免疫传感器研究
期刊论文
OAI收割
传感技术学报, 2006, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 2149-2152
许媛媛
;
边超
;
陈绍凤
;
夏善红
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提交时间:2010/05/19
微/纳米加工技术
微型电化学免疫传感器
微电子机械系统(MEMS)
抗体