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	新型三明治MEMS加速度传感器的设计、制作与测试学位论文 OAI收割博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012 周晓峰收藏 \| 浏览/下载：148/0 \| 提交时间：2013/04/24 微电子机械系统加速度传感器地震检波器腐蚀自停止
	三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012 蔡梅妮收藏 \| 浏览/下载：195/0 \| 提交时间：2013/04/24 MEMS加速度传感器吸气剂器件级真空封装 Q 自停止腐蚀
	三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装期刊论文 OAI收割半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814 蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健收藏 \| 浏览/下载：66/0 \| 提交时间：2013/02/22 三明治式MEMS加速度计自停止腐蚀工艺吸气剂品质因子器件级真空封装
	用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作期刊论文 OAI收割传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113 蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林收藏 \| 浏览/下载：33/0 \| 提交时间：2013/02/22 三明治电容式MEMS加速度传感器自停止腐蚀品质因数器件级真空封装双面划片
	基于金硅原电池保护电容加速度计的制作期刊论文 OAI收割传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 133-136 王辉; 吴燕红; 杨恒收藏 \| 浏览/下载：34/0 \| 提交时间：2013/02/22 电容加速度计金硅原电池反熔丝腐蚀自停止
	基于自停止腐蚀的双面梁-质量块结构加速度传感器研究学位论文 OAI收割硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2008 肖飞收藏 \| 浏览/下载：34/0 \| 提交时间：2012/03/06 微电子机械系统加速度传感器自停止腐蚀硅-硅键合
	同步辐射的基本知识第二讲同步辐射中的衍射术及其应用(八) 期刊论文 OAI收割理化检验(物理分册), 2008, 期号: 10 程国峰; 杨传铮; 黄月鸿收藏 \| 浏览/下载：20/0 \| 提交时间：2012/01/06 亚微米梁自停止腐蚀电化学腐蚀原电池
	基于自停止腐蚀的双面梁—质量块结构加速度传感器研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2008 肖飞收藏 \| 浏览/下载：12/0 \| 提交时间：2012/03/06 微电子机械系统加速度传感器自停止腐蚀硅-硅键合
	基于金硅腐蚀自停止技术的亚微米梁制作研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2008 陆荣收藏 \| 浏览/下载：24/0 \| 提交时间：2012/03/06 亚微米梁自停止腐蚀电化学腐蚀原电池