中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页
机构
成果
学者
登录
注册
登陆
×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
校外用户登录
CAS IR Grid
机构
电子学研究所 [34]
上海微系统与信息技术... [9]
长春光学精密机械与物... [2]
上海光学精密机械研究... [2]
合肥物质科学研究院 [2]
力学研究所 [1]
更多
采集方式
OAI收割 [55]
内容类型
学位论文 [30]
期刊论文 [24]
会议论文 [1]
发表日期
2020 [1]
2018 [4]
2017 [4]
2016 [3]
2015 [5]
2014 [2]
更多
学科主题
传感器 [14]
Sensor [4]
Vacuum [1]
半导体器件 [1]
工质热物性 [1]
微电子学 [1]
更多
筛选
浏览/检索结果:
共55条,第1-10条
帮助
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
题名升序
题名降序
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
作者升序
作者降序
圆柱形光声池结构及环境因素对声学本征频率的影响
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2020, 卷号: 049
作者:
程刚
;
陈家金
;
曹亚南
;
田兴
;
刘锟
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:34/0
  |  
提交时间:2020/11/25
光声光谱
光吸收
声学谐振腔
计算机仿真
气体传感器
扭转谐振式共面电极电场传感器研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2018
-
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:57/0
  |  
提交时间:2018/06/02
微型电场传感器
扭转谐振
共面电极
响应特性
MEMS
改善硅谐振压力传感器温度特性的方法研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2018
-
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:15/0
  |  
提交时间:2018/06/04
硅谐振压力传感器
热应力有限元分析
低应力组装
应力隔离结构
无线无源眼压传感器及其检测系统研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2018
-
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:41/0
  |  
提交时间:2018/06/05
MEMS
眼压传感器
C-L-C-L串联谐振电路
瞬变电磁法
FPGA
电极化对FBAR应力负载效应影响的分析
期刊论文
OAI收割
压电与声光, 2018, 卷号: 40, 期号: 3, 页码: 366-369
作者:
文数文
;
王宇航
;
高杨
;
张大鹏
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:27/0
  |  
提交时间:2019/09/24
微机电系统
力学传感器
薄膜体声波谐振器
应力负载效应
电极化效应
解析模型
航空用电磁式硅谐振压力传感器检测电路及仪表研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
朱林
收藏
  |  
浏览/下载:29/0
  |  
提交时间:2017/06/08
硅谐振压力传感器
温度自补偿
检测电路
仪表电路
航空用电磁式硅谐振压力传感器检测电路及仪表研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
朱林
收藏
  |  
浏览/下载:27/0
  |  
提交时间:2017/06/07
硅谐振压力传感器
温度自补偿
检测电路
仪表电路
基于氧化锌薄膜体声波谐振器的传感器及系统研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2017
张萌颖
收藏
  |  
浏览/下载:26/0
  |  
提交时间:2017/06/07
薄膜体声波谐振器+增敏设计+温度控制+气体传感器+压力传感器
硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真
期刊论文
OAI收割
仪表技术与传感器, 2017, 卷号: 000
作者:
平文
;
孔德义
;
单建华
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:19/0
  |  
提交时间:2020/10/26
谐振式压力传感器
敏感结构
谐振梁
硅膜
模态仿真
灵敏度
便携式MEMS微悬臂梁生物传感器设计及系统集成研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2016
王晶晶
收藏
  |  
浏览/下载:58/0
  |  
提交时间:2016/06/03
微悬臂梁
生物传感器
闭环谐振器
肝癌早诊
局域修饰
便携式