中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页
机构
成果
学者
登录
注册
登陆
×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
校外用户登录
CAS IR Grid
机构
电子学研究所 [23]
上海微系统与信息技术... [6]
力学研究所 [1]
长春光学精密机械与物... [1]
上海应用物理研究所 [1]
半导体研究所 [1]
更多
采集方式
OAI收割 [35]
内容类型
学位论文 [18]
期刊论文 [16]
会议论文 [1]
发表日期
2017 [2]
2016 [3]
2015 [3]
2014 [1]
2013 [2]
2012 [1]
更多
学科主题
传感器 [8]
Sensor [2]
Vacuum [1]
半导体器件 [1]
微电子学 [1]
电磁场 [1]
更多
筛选
浏览/检索结果:
共35条,第1-10条
帮助
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
题名升序
题名降序
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
作者升序
作者降序
非对称式磁耦合谐振无线能量传输系统
期刊论文
OAI收割
信息与控制, 2017, 卷号: 46, 期号: 2, 页码: 243-247
作者:
方学林
;
王重阳
;
李洪谊
收藏
  |  
浏览/下载:47/0
  |  
提交时间:2017/05/20
磁耦合谐振
非对称式
传输效率
无线能量传输(WPT)
硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真
期刊论文
OAI收割
仪表技术与传感器, 2017, 卷号: 000
作者:
平文
;
孔德义
;
单建华
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:19/0
  |  
提交时间:2020/10/26
谐振式压力传感器
敏感结构
谐振梁
硅膜
模态仿真
灵敏度
便携式MEMS微悬臂梁生物传感器设计及系统集成研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2016
王晶晶
收藏
  |  
浏览/下载:58/0
  |  
提交时间:2016/06/03
微悬臂梁
生物传感器
闭环谐振器
肝癌早诊
局域修饰
便携式
基于SOI背孔引线技术的大量程谐振式MEMS压力传感器研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
邢永豪
收藏
  |  
浏览/下载:46/0
  |  
提交时间:2016/06/02
谐振式压力传感器
大量程
阳极键合
SOI背孔引线
温度自补偿
静电激励谐振式MEMS气压传感器的关键技术研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2016
谢波
收藏
  |  
浏览/下载:33/0
  |  
提交时间:2016/06/04
谐振式压力传感器
静电激励/电容检测
阳极键合真空封装
SOI通孔引线
Au电极无掩膜制作
温度自补偿
频率域感应式磁场传感器技术研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2015
闫彬
收藏
  |  
浏览/下载:393/0
  |  
提交时间:2015/06/09
感应式磁场传感器
等效输入磁场噪声
谐振型窄带感应式磁场传感器
优化方法
新型频率域感应式磁场传感器
提高谐振式MEMS气压传感器综合性能关键技术研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2015
李忆南
收藏
  |  
浏览/下载:43/0
  |  
提交时间:2015/06/21
谐振式MEMS压力传感器
温度补偿
闭环电路
传感器仪表
高Q值的谐振式MEMS气压传感器的研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2015
罗振宇
收藏
  |  
浏览/下载:78/0
  |  
提交时间:2015/06/05
谐振式
压力传感器
品质因数
圆片级真空封装
阳极键合
吸气剂
TGV
低应力组装
差频检测
温度补偿
宽频带感应式磁传感器线圈电感的研究
期刊论文
OAI收割
电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 7, 页码: 703-709
作者:
邵英秋
;
宋克非
收藏
  |  
浏览/下载:55/0
  |  
提交时间:2015/04/17
磁反馈
感应式
电感
谐振频率
谐振式MEMS压力传感器封装和仪表研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013
张健
收藏
  |  
浏览/下载:90/0
  |  
提交时间:2013/06/07
谐振式MEMS压力传感器
真空封装
低应力组装
闭环电路
传感器仪表