机构

• 电子学研究所 [10]
• 合肥物质科学研究院 [1]

采集方式

• OAI收割 [11]

内容类型

• 学位论文 [8]
• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2017 [1]
• 2016 [2]
• 2015 [2]
• 2013 [1]
• 2012 [1]
• 2002 [2]
• 更多

学科主题

• 传感器 [6]
• Sensor [2]
• Vacuum [1]
• 真空电子技术 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共11条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2017, 卷号: 000 作者:  平文;  孔德义;  单建华   |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2020/10/26 谐振式压力传感器  敏感结构  谐振梁  硅膜  模态仿真  灵敏度   基于SOI背孔引线技术的大量程谐振式MEMS压力传感器研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 邢永豪 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2016/06/02 谐振式压力传感器  大量程  阳极键合  SOI背孔引线  温度自补偿   静电激励谐振式MEMS气压传感器的关键技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 谢波 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2016/06/04 谐振式压力传感器  静电激励/电容检测  阳极键合真空封装  SOI通孔引线  Au电极无掩膜制作  温度自补偿   提高谐振式MEMS气压传感器综合性能关键技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2015 李忆南 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2015/06/21 谐振式MEMS压力传感器  温度补偿  闭环电路  传感器仪表   高Q值的谐振式MEMS气压传感器的研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2015 罗振宇 收藏  |  浏览/下载：74/0  |  提交时间：2015/06/05 谐振式  压力传感器  品质因数  圆片级真空封装  阳极键合  吸气剂  TGV  低应力组装  差频检测  温度补偿   谐振式MEMS压力传感器封装和仪表研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013 张健 收藏  |  浏览/下载：87/0  |  提交时间：2013/06/07 谐振式MEMS压力传感器  真空封装  低应力组装  闭环电路  传感器仪表   基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器的制作 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012 罗振宇 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2012/06/09 MEMS  谐振式压力传感器  电磁激励  SOI  牺牲层释放   微机械谐振梁压力传感器研究 学位论文  OAI收割 博士, 中国科学院电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2002 陈德勇 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2011/07/19 谐振式压力传感器  微电子机械  低应力氮化硅谐振梁  电热激励  半岛结构   微机械谐振梁压力传感器研究 学位论文  OAI收割 博士, 中国科学院电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2002 陈德勇 收藏  |  浏览/下载：64/0  |  提交时间：2011/07/19 谐振式压力传感器  微电子机械  低应力氮化硅谐振梁  电热激励  半岛结构   微机械氮化硅梁谐振式压力传感器 期刊论文  OAI收割 机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 543-547 陈德勇，崔大付，于中尧，王利 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2010/09/02 微电子机械加工技术 氮化硅梁 谐振式压力传感器