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上海应用物理研究所 [3]
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长春光学精密机械与物... [1]
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采集方式
OAI收割 [11]
内容类型
期刊论文 [7]
学位论文 [4]
发表日期
2016 [1]
2013 [1]
2009 [2]
2008 [2]
2006 [1]
2002 [2]
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陶瓷微型零件的软刻蚀成形与缺陷控制
学位论文
OAI收割
工学博士, 北京: 中国科学院大学, 2016
作者:
苏博
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非传统微纳米加工技术在微米阵列制备中的应用
学位论文
OAI收割
博士, 中国科学院长春应用化学研究所: 中国科学院研究生院, 2013
作者:
柯曦
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  |  
一种新型聚合物微透镜阵列的制造技术
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2009, 卷号: 36, 期号: 11, 页码: 2869-2872
王伟
;
周常河
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  |  
PDMS表面改性和辐射交联及其在软刻蚀技术中的应用
学位论文
OAI收割
博士, 上海应用物理研究所: 中国科学院上海应用物理研究所, 2009
杨海军
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  |  
基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计
期刊论文
OAI收割
核技术, 2008, 期号: 06
朱伟忠
;
吴衍青
;
史沛熊
;
郭智
;
邰仁忠
;
徐洪杰
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  |  
图案化TiO2薄膜的制备技术
期刊论文
OAI收割
化学进展, 2008, 卷号: 20, 期号: 11, 页码: 66.1(0-5)
梁山
;
陈淼
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  |  
用于软刻蚀复型及转印前后形貌比较的反向重定位AFM成像方法
期刊论文
OAI收割
电子显微学报, 2006, 期号: 6
唐雨钊
;
周虹杉
;
张峰
;
吴志华
;
张晓东
;
孙洁林
;
胡钧
收藏
  |  
软刻蚀及其应用
期刊论文
OAI收割
化学通报, 2002, 期号: 9, 页码: 606-613
王喆
;
邢汝博
;
韩艳春
;
李滨耀
收藏
  |  
Soft lithography and its application
期刊论文
OAI收割
huaxue tongbao (chemistry), 2002, 期号: 9, 页码: 606-613
Wang Zhe,Xing Rubo,Han Yanchun*,Li Binyao
收藏
  |  
用光学全息方法研制软X射线Bragg-Fresnel光学元件
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术, 1999, 期号: 01, 页码: 68-71
王占山
;
马月英
;
吕俊霞
;
高宏刚
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刘毅楠
;
裴舒
;
曹健林
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徐向东
;
洪义麟
;
付绍军
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