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陶瓷微型零件的软刻蚀成形与缺陷控制 学位论文  OAI收割
工学博士, 北京: 中国科学院大学, 2016
作者:  苏博
收藏  |  浏览/下载：99/0  |  提交时间：2016/11/25
非传统微纳米加工技术在微米阵列制备中的应用 学位论文  OAI收割
博士, 中国科学院长春应用化学研究所: 中国科学院研究生院, 2013
作者:  柯曦
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/09/14
一种新型聚合物微透镜阵列的制造技术 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2009, 卷号: 36, 期号: 11, 页码: 2869-2872
王伟; 周常河
收藏  |  浏览/下载：1059/181  |  提交时间：2010/05/14
PDMS表面改性和辐射交联及其在软刻蚀技术中的应用 学位论文  OAI收割
博士, 上海应用物理研究所: 中国科学院上海应用物理研究所, 2009
杨海军
收藏  |  浏览/下载：105/0  |  提交时间：2012/04/11
基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计 期刊论文  OAI收割
核技术, 2008, 期号: 06
朱伟忠; 吴衍青; 史沛熊; 郭智; 邰仁忠; 徐洪杰
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/06/06
图案化TiO2薄膜的制备技术 期刊论文  OAI收割
化学进展, 2008, 卷号: 20, 期号: 11, 页码: 66.1(0-5)
梁山; 陈淼
收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2013/03/28
用于软刻蚀复型及转印前后形貌比较的反向重定位AFM成像方法 期刊论文  OAI收割
电子显微学报, 2006, 期号: 6
唐雨钊; 周虹杉; 张峰; 吴志华; 张晓东; 孙洁林; 胡钧
收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2012/05/23
软刻蚀及其应用 期刊论文  OAI收割
化学通报, 2002, 期号: 9, 页码: 606-613
王喆; 邢汝博; 韩艳春; 李滨耀
收藏  |  浏览/下载：174/24  |  提交时间：2010/11/03
Soft lithography and its application 期刊论文  OAI收割
huaxue tongbao (chemistry), 2002, 期号: 9, 页码: 606-613
Wang Zhe,Xing Rubo,Han Yanchun*,Li Binyao
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/09/13
用光学全息方法研制软X射线Bragg-Fresnel光学元件 期刊论文  OAI收割
真空科学与技术, 1999, 期号: 01, 页码: 68-71
王占山; 马月英; 吕俊霞; 高宏刚; 刘毅楠; 裴舒; 曹健林; 徐向东; 洪义麟; 付绍军
收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2013/03/11