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机构
上海微系统与信息技术... [5]
微电子研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [6]
内容类型
学位论文 [4]
期刊论文 [2]
发表日期
2009 [2]
2006 [3]
2003 [1]
学科主题
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共6条,第1-6条
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超深亚微米工艺条件下基于模型的光学邻近效应修正方法的研究
学位论文
OAI收割
博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2009
朱亮
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  |  
超深亚微米工艺条件下基于模型的光学临近效应修正方法的研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2009
朱亮
收藏
  |  
偏离标准条件的OPC 模型以及OPC 相关的验证方法
学位论文
OAI收割
博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006
陆梅君
收藏
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基于子结构模型的音叉振动式微机械陀螺的检测电容解析方法
期刊论文
OAI收割
机械工程学报, 2006, 期号: 09
刘广军
;
王安麟
;
姜涛
;
焦继伟
;
张正福
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  |  
偏离标准条件的OPC模型以及OPC相关的验证方法
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
陆梅君
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纳米级电子束直写曝光的基础工艺
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2003, 卷号: 24, 期号: B05, 页码: 3,226-228
作者:
陆晶
;
刘明
;
陈宝钦
;
王云翔
;
龙世兵
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