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探讨用最巨大仪器研究最微小粒子(四) nm工艺流程仪器及代工全球60%芯片制造的tsmc-OEM模式制造“智能”(上) 期刊论文  OAI收割
仪器仪表标准化与计量, 2018, 期号: 4, 页码: 1-8
作者:  沈经
  |  收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2019/09/24
国有资产介入上海IC产业布局的研究 期刊论文  OAI收割
中国集成电路, 2011, 期号: 03
宋朝瑞; 郑惠强; 赵宇航; 赵建忠
收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/04/13
半导体设备控制中SEMI标准模型研究 期刊论文  OAI收割
仪器仪表学报, 2008, 卷号: 29, 期号: S, 页码: 687-690
作者:  于海斌;  刘明哲;  徐皑冬
  |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2010/11/29
中国集成电路装备制造业自主创新战略 期刊论文  OAI收割
中国集成电路, 2006, 卷号: 15, 期号: 9, 页码: 17-19
作者:  叶甜春
  |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/05/26
中国集成电路装备制造业自主创新战略的几点思考 期刊论文  OAI收割
中国制造业信息化（应用版）, 2006, 期号: 4, 页码: 53-55
作者:  叶甜春
  |  收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2010/05/26
基于非参数背景抑制的弱小目标管线法检测 期刊论文  OAI收割
光学技术, 2005, 期号: 04
张飞; 李承芳; 史丽娜; 孙晓玮
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/01/06
VLSI芯片的可测试性、可调试性、可制造性和可维护性设计 期刊论文  OAI收割
计算机工程与科学, 2003, 卷号: 25.0, 期号: 1.0, 页码: 92
作者:  沈理
  |  收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2023/12/04
电子束曝光技术的应用 期刊论文  OAI收割
世界产品与技术, 2002, 期号: 4, 页码: 2,30_31
作者:  刘明;  张建宏
  |  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2010/05/25
同步辐射光刻技术进展 期刊论文  OAI收割
核技术, 2002, 期号: 10, 页码: 817-821
作者:  陈大鹏;  彭良强
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2015/12/25
2umN阱CMOS工艺开发研究 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院（上海冶金研究所）  , 1992
黄明军
收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2012/03/06