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反应磁控溅射制备AlN薄膜及其耐腐蚀性能研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2018
作者:
王雄伟
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提交时间:2019/10/31
反应磁控溅射
AlN薄膜
腐蚀
极化曲线
电化学阻抗谱
Reactive magnetron sputtering
AlN film
Corrosion
Polarization curve
Electrochemical impedance spectroscopy
同步辐射的基本知识 第二讲 同步辐射中的衍射术及其应用(七)
期刊论文
OAI收割
理化检验(物理分册), 2008, 期号: 09
程国峰
;
杨传铮
;
黄月鸿
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提交时间:2012/01/06
AlN薄膜
智能剥离
绝缘层上硅
大功率LED的封装及其散热基板的研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院西安光学精密机械研究所, 2007
李华平
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浏览/下载:105/0
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提交时间:2011/10/09
功率型-LED封装
MCPCB
热沉
有限元法
AlN薄膜
等离子微弧氧化
淬冷
微观结构
氮化铝薄膜发光性能研究进展
期刊论文
OAI收割
真空, 2007, 期号: 2, 页码: 22-26
佟洪波
;
巴德纯
;
肖金泉
;
闻立时
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提交时间:2012/04/12
AlN薄膜
发光
TFEL器件
Cl_2基气体感应耦合等离子体刻蚀GaN的工艺
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2006, 期号: 07
刘北平
;
李晓良
;
朱海波
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提交时间:2012/01/06
AlN薄膜
极化
电学性能
AlN压电薄膜制备及铰链式高量程加速度计研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
范克彬
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提交时间:2012/03/06
AlN薄膜
正交设计
微电子机械系统
压阻式
高量程
一种可逆键合电泳微芯片的制作及在蛋白质分离中的应用
期刊论文
OAI收割
化学学报, 2005, 期号: 11
庄贵生
;
刘菁
;
贾春平
;
金庆辉
;
赵建龙
;
王惠民
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提交时间:2012/01/06
AlN薄膜
KrF准分子脉冲激光沉积
微结构
无线传感器网络技术中的关键性问题
期刊论文
OAI收割
传感器世界, 2004, 期号: 07
肖健
;
吕爱琴
;
陈吉忠
;
朱明华
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提交时间:2012/01/06
AlN薄膜
离子束增强沉积(IBED)
电绝缘性能
制备AlN薄膜为绝缘埋层的新型SOI材料
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2002, 期号: 04
门传玲
;
徐政
;
安正华
;
张苗
;
林成鲁
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提交时间:2012/01/06
AlN薄膜
键合
SOI
离子束增强沉积
偏压对阴极电弧离子镀AlN薄膜的影响
期刊论文
OAI收割
材料研究学报, 2001, 期号: 6, 页码: 675-680
黄美东,董闯,宫骏,卢春燕,孙超,黄荣芳,闻立时
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提交时间:2012/04/12
偏压
阴极电弧离子镀
物理气相沉积
AlN薄膜