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Control Strategy for a Low Cost Manipulator to Transport and Align IC Mask-Plates 期刊论文  OAI收割
IEEE TRANSACTIONS ON CONTROL SYSTEMS TECHNOLOGY, 2009, 卷号: 17, 期号: 5, 页码: 1018-1027
作者:  Xu, De;  Tan, Min;  Liu, Yun;  Wang, Jianhua
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掩模传输系统的运动控制与预对准方法研究 学位论文  OAI收割
工学博士, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2007
作者:  刘云
收藏  |  浏览/下载：106/0  |  提交时间：2015/09/02