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机构
上海微系统与信息技术... [5]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2001 [1]
2000 [1]
1999 [1]
1989 [2]
学科主题
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共5条,第1-5条
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单片Si-FED的结构和设计
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2001, 期号: 05
范忠
;
李琼
;
徐静芳
;
茅东升
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/03/29
K1 场发射显示器
干法刻蚀
离子注入
离子注入碲镉汞迁移率谱的研究
期刊论文
OAI收割
红外与激光工程, 2000, 期号: 02
李向阳
;
赵军
;
陆慧庆
;
方家熊
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/03/29
K1 迁移率谱
碲镉汞
离子注入
SIMOX材料注F~+后的SIMS分析
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 1999, 期号: 05
曾健
;
高剑侠
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2012/03/29
K1 F离子注入
SIMOX
材料
SIMS分析
抗辐射
BF_2~+注入的多晶硅薄膜快速热退火后氟行为的研究
期刊论文
OAI收割
电子科学学刊, 1989, 期号: 04
林成鲁
;
倪如山
;
邹世昌
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/03/29
K1 离子注入
快速热退火
氟泡
氮离子注入形成SOI结构的外延研究
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 1989, 期号: 06
林成鲁
;
李金华
;
方予韦
;
邹世昌
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/03/29
K1 离子注入
退火
外延生长
SOI材料