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OAI收割 [21]
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期刊论文 [16]
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粒子物理与原子核物理 [1]
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博士学位论文-基于LIGA技术的微透镜阵列研制及其性能研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2024
作者:
梁小筱
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  |  
新型高效率传输阵列天线研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院国家空间科学中心, 2016
作者:
刘广
收藏
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利用LIGA技术研制微细电火花异形和阵列结构电极
期刊论文
OAI收割
电加工与模具, 2011, 期号: 5, 页码: 14-17+25
作者:
伊福廷
;
李勇
;
刘改红
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  |  
服务于微电子产业的MEMS新技术
会议论文
OAI收割
第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009
程融
;
蒋珂玮
;
李昕欣
收藏
  |  
基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究
期刊论文
OAI收割
电加工与模具, 2004, 期号: S1, 页码: 39-41+94
作者:
邹丽芸
;
张院春
;
彭良强
;
黄军容
;
伊福廷
收藏
  |  
基于LIGA技术的微细电火花加工
期刊论文
OAI收割
机械工人.冷加工, 2004, 期号: 1, 页码: 26-28
作者:
彭良强
收藏
  |  
双转子平面微电机定子制作工艺研究
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 73-75+80
作者:
王淑荣
;
梁静秋
;
张平
;
吴一辉
收藏
  |  
LIGA技术制备正电子慢化体的实验研究
期刊论文
OAI收割
核技术, 2002, 期号: 10, 页码: 893-896
作者:
黄军容
;
彭良强
;
伊福廷
;
于润升
;
魏龙
收藏
  |  
同步辐射讲座 第五讲 微电子机械系统加工新方法——LIGA技术
期刊论文
OAI收割
物理, 2002, 期号: 11, 页码: 736-740
作者:
刘刚
;
田扬超
;
伊福廷
;
彭良强
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  |  
LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 2002, 期号: 2, 页码: 72-74
作者:
彭良强
;
伊福廷
;
张院春
;
邹丽芸
;
张菊芳
收藏
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