机构

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内容类型

• 期刊论文 [16]
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发表日期

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学科主题

• 粒子物理与原子核物理 [1]

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浏览/检索结果: 共20条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 新型高效率传输阵列天线研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院国家空间科学中心, 2016 作者:  刘广 收藏  |  浏览/下载：65/0  |  提交时间：2016/07/15 传输阵列天线  微波网络理论  太赫兹  UV-LIGA  深反应离子刻蚀技术  高效率   利用LIGA技术研制微细电火花异形和阵列结构电极 期刊论文  OAI收割 电加工与模具, 2011, 期号: 5, 页码: 14-17+25 作者:  伊福廷;  李勇;  刘改红 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2015/12/25 电火花电极  异形阵列电极  大高宽比金属结构  LIGA技术   服务于微电子产业的MEMS新技术 会议论文  OAI收割 第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009 程融; 蒋珂玮; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2012/01/18 微电子产业 UV-LIGA技术 金属电镀 MEMS器件 微细加工 硅微机械   基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究 期刊论文  OAI收割 电加工与模具, 2004, 期号: S1, 页码: 39-41+94 作者:  邹丽芸;  张院春;  彭良强;  黄军容;  伊福廷 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2015/12/25 微细加工  LIGA技术  电火花加工   基于LIGA技术的微细电火花加工 期刊论文  OAI收割 机械工人.冷加工, 2004, 期号: 1, 页码: 26-28 作者:  彭良强 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2015/12/25 微细电火花加工  LIGA技术  微细加工技术  工具电极  微型机电系统  研究机构  喷墨打印机  成形电极  特种加工  磨削工艺   双转子平面微电机定子制作工艺研究 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 73-75+80 作者:  王淑荣;  梁静秋;  张平;  吴一辉 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/03/11 双转子  平面微电机  定子  孔引线  准LIGA技术   LIGA技术制备正电子慢化体的实验研究 期刊论文  OAI收割 核技术, 2002, 期号: 10, 页码: 893-896 作者:  黄军容;  彭良强;  伊福廷;  于润升;  魏龙 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2015/12/25 LIGA技术  正电子慢化体   同步辐射讲座 第五讲 微电子机械系统加工新方法——LIGA技术 期刊论文  OAI收割 物理, 2002, 期号: 11, 页码: 736-740 作者:  刘刚;  田扬超;  伊福廷;  彭良强 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2015/12/25 LIGA技术  微电子机械系统  同步辐射光刻   LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2002, 期号: 2, 页码: 72-74 作者:  彭良强;  伊福廷;  张院春;  邹丽芸;  张菊芳 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2015/12/25 微细加工  LIGA技术  电火花加工   利用LIGA技术制作过滤介质 期刊论文  OAI收割 过滤与分离, 2002, 期号: 4, 页码: 11--13 作者:  黄军容;  彭良强;  伊福廷;  张菊芳;  韩勇 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2015/12/25 过滤介质  LIGA技术  制作