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浏览/检索结果: 共11条，第1-10条 帮助

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Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜
  |  收藏  |  浏览/下载：66/0  |  提交时间：2021/07/06
极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠
收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2017/09/17
质子辐照下Mo/Si多层膜反射镜的微观结构状态 期刊论文  OAI收割
物理学报, 2011, 期号: 01, 页码: 324-330
作者:  陈波;  王孝东
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2013/03/11
基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2011, 期号: 11, 页码: 220-225
作者:  李春;  金春水;  喻波
收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2013/03/11
极紫外与短波长软X射线多层膜的研制 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2007
作者:  秦俊岭
收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2016/11/28
Mo／Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究 期刊论文  OAI收割
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 763, 766
秦俊岭; 邵建达; 易葵; 周洪军; 霍同林; 范正修
收藏  |  浏览/下载：922/195  |  提交时间：2009/09/22
不同膜层数的Mo/Si多层膜的表界面粗糙度和软X射线反射率 期刊论文  OAI收割
Chin. Opt. Lett., 2007, 卷号: 5, 期号: 5, 页码: 301, 303
秦俊岭; 邵建达; 易葵; 范正修
收藏  |  浏览/下载：648/128  |  提交时间：2009/09/22
研究扩散屏障层对Mo/Si多层膜软X射线反射率影响的模拟 期刊论文  OAI收割
光子学报, 2007, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 300, 303
秦俊岭; 邵建达; 易葵; 范正修
收藏  |  浏览/下载：1081/158  |  提交时间：2009/09/22
用不同的Mo靶溅射功率制备Mo／Si多层膜 期刊论文  OAI收割
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 67, 70
秦俊岭; 邵建达; 易葵
收藏  |  浏览/下载：1034/176  |  提交时间：2009/09/22
Mo/Si多层膜反射镜在带电粒子照射下反射率变化 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2005, 期号: S1, 页码: 38-41
作者:  陈波;  尼启良
收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2013/03/11