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上海微系统与信息技术... [4]
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OAI收割 [7]
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博士后出站报告-高空间分辨精度硅像素顶点探测器的研究:超小型数字像素的设计
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院, 2017
作者:
周扬
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2019/03/18
顶点探测器
硅像素探测器
CMOS工艺
SOI工艺
空间分辨
高能粒子对撞机
注硅工艺对UNIBOND SOI材料抗辐照性能的影响
会议论文
OAI收割
第六届中国功能材料及其应用学术会议, 2007
武爱民
;
陈静
;
张恩霞
;
杨慧
;
张正选
;
王曦
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2012/01/18
SOI材料 注硅工艺 智能剥离 硅离子注入 纳米晶 改性处理 抗辐照性能
等离子体键合和B+/H+共注实现低温SOI工艺的研究
会议论文
OAI收割
第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005
马小波
;
詹达
;
刘卫丽
;
宋志棠
;
沈勤我
;
林梓鑫
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2012/01/18
等离子体键合 低温SOI工艺 硼氢离子共注
一种新的SOI射频集成电路结构与工艺
期刊论文
OAI收割
微电子学, 2004, 卷号: 34, 期号: 5, 页码: 569-571
作者:
韩郑生
;
杨荣
;
李俊峰
;
钱鹤
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2010/05/26
Soi工艺
射频集成电路
Ldmos
Nmos
掩模版
光刻
硅衬底
集成工艺
Cmos
有源
部分耗尽0.25μm SOI射频nMOSFET
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2004, 卷号: 25, 期号: 9, 页码: 1061-1065
作者:
赵玉印
;
李俊峰
;
杨荣
;
柴淑敏
;
刘明
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2010/05/26
结构
工艺
仿真
实验
射频
Soi
SOI圆片制备技术研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院(上海冶金研究所) , 2000
陈猛
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提交时间:2012/03/06
SIMOX制备技术
SOI圆片
高温退火工艺
离子束合成SOI材料分析与器件工艺研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海冶金研究所) , 1994
施左宇
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提交时间:2012/03/06
超大规模集成电路
SOI技术
离子背散射
沟道分析技术
工艺