机构

• 物理研究所 [12]
• 金属研究所 [12]
• 上海微系统与信息技术... [9]
• 半导体研究所 [6]
• 长春光学精密机械与物... [1]
• 宁波材料技术与工程研... [1]
• 更多

采集方式

• OAI收割 [43]
• iSwitch采集 [1]

内容类型

• 期刊论文 [40]
• 会议论文 [3]
• 外文期刊 [1]

发表日期

• 2016 [1]
• 2015 [2]
• 2014 [2]
• 2013 [1]
• 2012 [3]
• 2011 [1]
• 更多

学科主题

• 半导体材料 [3]
• 半导体物理 [3]
• Condensed ... [2]
• Engineerin... [2]
• Materials ... [2]
• Materials ... [2]
• 更多

筛选

浏览/检索结果: 共44条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Improvement on the Si/PEDOT:PSS hybrid solar cells by rear-sided passivation with SiNx:H layers 会议论文  OAI收割 APR 11-12, 2016 作者:  Sun, Yiling;  Ye, Jichun;  Gao, Pingqi;  Xiang, Yong   |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2021/12/02 CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION  SILICON-NITRIDE FILMS  TEMPERATURE   The microstructure and optical properties of SiNx deposited by linear microwave chemical vapor deposition 期刊论文  OAI收割 ACTA PHYSICA SINICA, 2015, 卷号: 64, 期号: 6 作者:  Zhang Jian;  Ba DeChun;  Zhao ChongLing;  Liu Kun;  Du GuangYu   |  收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2021/02/02 SILICON-NITRIDE FILMS  THIN-FILMS  PLASMA  PHOTOLUMINESCENCE  TEMPERATURE  SiNx thin film  linear microwave chemical vapor deposition  refractivity  deposition rate   The microstructure and optical properties of SiNx deposited by linear microwave chemical vapor deposition 期刊论文  OAI收割 ACTA PHYSICA SINICA, 2015, 卷号: 64, 期号: 6 作者:  Zhang Jian;  Ba DeChun;  Zhao ChongLing;  Liu Kun;  Du GuangYu   |  收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2021/02/02 SILICON-NITRIDE FILMS  THIN-FILMS  PLASMA  PHOTOLUMINESCENCE  TEMPERATURE  SiNx thin film  linear microwave chemical vapor deposition  refractivity  deposition rate   Synthesis of yttrium silicates by annealing r.f. sputtered glassy coatings 期刊论文  OAI收割 Vacuum, 2014, 卷号: 101, 页码: 382-386 J. Zhang; S. Mraz; J. H. Yao; J. M. Schneider 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2014/03/14 Yttrium silicates  r.f. sputtering and post-annealing  environmental barrier coatings  silicon-nitride  thin-films  temperature  deposition  composites  ceramics  stress  growth   Mechanical behavior related to various bonding states in amorphous Si-C-N hard films 期刊论文  OAI收割 Surface & Coatings Technology, 2014, 卷号: 258, 页码: 353-358 C. Q.; Schlemper Zhuang, C.; Fuchs, R.; Zhang, L.; Huang, N.; Vogel, M.; Staedler, T.; Jiang, X. 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2015/05/08 Si-C-N coatings  Chemical bond  Mechanical behavior  silicon carbonitride films  pulsed-laser deposition  chemical-vapor-deposition  nitride thin-films  optical-properties  surface-morphology  band-gap  alloys  microstructure  coatings   Optimization of electrode size for aluminum-nitride matrix ultrasonic transducers in the frequency range above 200 MHz 期刊论文  OAI收割 Ultrasonics, 2013, 卷号: 53, 期号: 3, 页码: 739-744 作者:  Wei YJ(魏阳杰);  Herzog, Thomas;  Heuer, Henning 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2013/04/21 Aluminum  Aluminum nitride  Nitrides  Optimization  Silicon wafers  Thin films  Ultrasonic transducers   Characterization of Zr-Si-N films deposited by cathodic vacuum arc with different N-2/SiH4 flow rates 期刊论文  OAI收割 APPLIED SURFACE SCIENCE, 2012, 卷号: 258, 期号: 8, 页码: 3674 Zhang, GP; Niu, EW; Wang, XQ; Lv, GH; Zhou, L; Pang, H; Huang, J; Chen, W; Yang, SZ 收藏  |  浏览/下载：69/0  |  提交时间：2013/09/17 MECHANICAL-PROPERTIES  THIN-FILMS  COATINGS  NITRIDE  SILICON  MICROSTRUCTURE  TIN  VS.   Influence of Nitrogen Flow Ratio on the Microstructure, Composition, and Mechanical Properties of DC Magnetron Sputtered Zr-B-O-N Films 期刊论文  OAI收割 Journal of Materials Science & Technology, 2012, 卷号: 28, 期号: 11, 页码: 981-991 T. G. Wang; Y. M. Liu; T. F. Zhang; D. I. Kim; K. Kim 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2013/02/05 Films  DC magnetron sputtering  Nanocomposite  Microhardness  Adhesion  thin-films  cr-b  electrical-properties  coatings  target  deposition  growth  si  nitride  silicon   Effect of Cu addition on properties of Ti-Al-Si-N nanocomposite films deposited by cathodic vacuum arc ion plating 期刊论文  OAI收割 Surface & Coatings Technology, 2012, 卷号: 206, 期号: 11-12, 页码: 2947-2953 J. Shi; A. Kumar; L. Zhang; X. Jiang; Z. L. Pei; J. Gong; C. Sun 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2013/02/05 Cathode arc ion plating  Ti-Al-Si-N nanocomposite films  Nanoindentation  Adhesive strength  mechanical-properties  surface oxidation  titanium nitride  coatings  hardness  microstructure  silicon  gpa  xps   Composition-Dependent Structural and Electronic Properties of alpha-(Si(1-x)C(x))(3)N(4) 期刊论文  OAI收割 Journal of Physical Chemistry C, 2011, 卷号: 115, 期号: 5, 页码: 2448-2453 M. Xu; S. Xu; M. Y. Duan; M. Delanty; N. Jiang; H. S. Li; L. C. Kwek; K. Ostrikov 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/04/13 chemical-vapor-deposition  silicon-carbon nitride  thin-films  optical-properties  room-temperature  alpha-phase  growth  hard  photoluminescence  microstructure