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长春应用化学研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [8]
内容类型
期刊论文 [6]
学位论文 [2]
发表日期
2012 [1]
2008 [2]
2007 [1]
2005 [2]
2003 [1]
1991 [1]
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极紫外光刻离轴照明技术研究
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 147-152
作者:
金春水
;
王丽萍
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提交时间:2013/03/11
X射线光学
极紫外光刻
分辨率增强
离轴照明阴影效应
光刻胶
量子级联激光器基础材料结构特性研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008
梅斌
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浏览/下载:48/0
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提交时间:2012/03/06
X射线衍射
摇摆曲线
三轴二维倒空间Mapping
量子级联激光器
Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体
基于(111)硅的X轴微陀螺的研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008
段飞
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/03/06
(111)硅
X轴微陀螺
TFLG
惯性测量单元(IMU)
对称支承结构
基于薄膜SOI材料的GaN外延生长应力释放机制
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2007, 期号: 04
孙佳胤
;
陈静
;
王曦
;
王建峰
;
刘卫
;
朱建军
;
杨辉
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提交时间:2012/01/06
微机械陀螺
x轴
音叉式陀螺
“8悬臂梁-质量块”结构
限制槽
(111)硅晶圆
快速反射镜双X-Y轴控制的仿真研究
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2005, 期号: S1, 页码: 142-147
作者:
郭劲
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2013/03/11
双X-Y轴
复合轴控制
精密跟踪
FSM
关于滑移线场α族线与x轴夹角ω的探讨
期刊论文
OAI收割
塑性工程学报, 2005, 期号: 1, 页码: 68-70
王忠堂,张士宏,齐广霞
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/04/12
滑移线法
变形力
应力方程
α线与x轴夹角ω
TiN附着膜的应力-应变关系
期刊论文
OAI收割
金属学报, 2003, 期号: 7, 页码: 721-724
覃明,嵇宁,汪伟,陈昌荣,李家宝,马胜利
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/04/12
TiN膜
双轴应力
应力-应变关系
X射线拉伸实验
纳米压痕法
X射线衍射法测定聚合物材料取向
期刊论文
OAI收割
高分子材料科学与工程, 1991, 期号: 6, 页码: 1-8
张宏放
;
莫志深
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提交时间:2011/03/03
X射线衍射
高聚物
单轴和双轴取向