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	Nonuniform self-imaging of achromatic Talbot lithography 期刊论文 OAI收割 CHINESE OPTICS LETTERS, 2019, 卷号: 17, 期号: 6, 页码: - 作者: Xia, HJ; Yang, SM; Wang, LS; Zhao, J; Xue, CF \| 收藏 \| 浏览/下载：8/0 \| 提交时间：2020/10/16 INTERFEROMETRIC LITHOGRAPHY INTERFERENCE
	The wave optical whole process design of the soft X-ray interference lithography beamline at SSRF 期刊论文 OAI收割 JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION, 2018, 卷号: 25, 期号: -, 页码: 1869-1876 作者: Xue, CF; Meng, XY; Wu, YQ; Wang, Y; Wang, LS \| 收藏 \| 浏览/下载：15/0 \| 提交时间：2019/12/17 INTERFEROMETRIC LITHOGRAPHY FABRICATION PERFORMANCE BAND
	Refined grating fabrication using Displacement Talbot Lithography 期刊论文 OAI收割 Microelectronic Engineering, 2018, 卷号: 189, 页码: 74-77 作者: Chen, H.; Qin, L.; Chen, Y. Y.; Jia, P.; Gao, F. \| 收藏 \| 浏览/下载：8/0 \| 提交时间：2019/09/17 Refined grating fabrication Displacement Talbot Lithography Phase shift mask Photolighography interferometric lithography grids Engineering Science & Technology - Other Topics Optics Physics
	Development of broadband X-ray interference lithography large area exposure system 期刊论文 OAI收割 REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2016, 卷号: 87, 期号: 4, 页码: — 作者: Xue, CF; Wu, YQ; Zhu, FY; Yang, SM; Liu, HG 收藏 \| 浏览/下载：13/0 \| 提交时间：2016/09/12 INTERFEROMETRIC LITHOGRAPHY HIGH-RESOLUTION FABRICATION ARRAYS GRIDS LIGHT
	Developments at SSRF in soft X-ray interference lithography 期刊论文 OAI收割 NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES, 2015, 卷号: 26, 期号: 1, 页码: 5—11 作者: Yang, SM; Wang, LS; Zhao, J; Xue, CF; Liu, HG 收藏 \| 浏览/下载：27/0 \| 提交时间：2015/12/09 INTERFEROMETRIC LITHOGRAPHY GRATINGS BEAM NANOLITHOGRAPHY
	光刻投影物镜波像差原位干涉检测技术研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者: 吴飞斌收藏 \| 浏览/下载：70/0 \| 提交时间：2016/11/28 光刻投影物镜 1xnm节点波像差原位检测 Ronchi剪切干涉仪相位提取
	Interferometric Scheme for High-Sensitivity Coaxial Focusing in Projection Lithography 期刊论文 OAI收割 IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2014, 卷号: 6, 期号: 3 作者: Di, Chengliang; Hu, Song; Yan, Wei; Li, Yanli; Li, Guang 收藏 \| 浏览/下载：19/0 \| 提交时间：2015/07/10 Interferometry metrology fringe analysis phase unwrapping lithography
	Interferometric Scheme for High-Sensitivity Coaxial Focusing in Projection Lithography 期刊论文 OAI收割 IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2014, 卷号: 6, 期号: 3 作者: Di, Chengliang; Hu, Song; Yan, Wei; Li, Yanli; Li, Guang 收藏 \| 浏览/下载：13/0 \| 提交时间：2016/11/23
	Laser-induced damage properties of subwavelength antireflective grating on fused silica 期刊论文 OAI收割 thin solid films, 2014, 卷号: 567, 页码: 47 作者: Du, Ying; Zhu, Meiping; Liu, Quan; Sui, Zhan; Yi, Kui 收藏 \| 浏览/下载：10/0 \| 提交时间：2016/11/28 Fused silica grating Antireflection Holographic lithography Laser-induced damage threshold