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• 上海微系统与信息技术... [3]

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内容类型

• 学位论文 [3]

发表日期

• 2006 [3]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2006    内容类型：学位论文     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 AlN压电薄膜制备及铰链式高量程加速度计研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 范克彬   收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2012/03/06 AlN薄膜  正交设计  微电子机械系统  压阻式  高量程     MEMS电容式加速度传感器检测电路减噪与微机械谐振器静电自激驱动研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 王俊杰   收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2012/03/06 MEMS加速度传感器  噪声  分辨率  谐振器  静电自激驱动  谐振频率     MEMS电容式加速度传感器相关检测技术研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 吴浩   收藏  |  浏览/下载：111/0  |  提交时间：2012/03/06 电容式加速度传感器  等效电学模型  调制解调  力平衡  可靠工作范围