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• 上海微系统与信息技术... [4]

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• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [3]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2012 [4]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2012     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 蔡梅妮 收藏  |  浏览/下载：145/0  |  提交时间：2013/04/24 MEMS加速度传感器  吸气剂  器件级真空封装  Q  自停止腐蚀   三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814 蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健 收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2013/02/22 三明治式MEMS加速度计  自停止腐蚀工艺  吸气剂  品质因子  器件级真空封装   用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113 蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2013/02/22 三明治电容式MEMS加速度传感器  自停止腐蚀  品质因数  器件级真空封装  双面划片   低温玻璃浆料圆片级真空封装的研究 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 62-64 王伟; 熊斌; 王跃林; 马颖蕾 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/02/22 微机电系统  玻璃浆料封装  加速度计  真空封装