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• 上海微系统与信息技术... [7]

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• 期刊论文 [7]

发表日期

• 2012 [1]
• 2009 [2]
• 2008 [2]
• 2007 [2]

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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 内容类型：期刊论文     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 低温玻璃浆料圆片级真空封装的研究 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 62-64 王伟; 熊斌; 王跃林; 马颖蕾 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/02/22 微机电系统  玻璃浆料封装  加速度计  真空封装   镁合金AZ31化学成膜及其耐蚀性研究 期刊论文  OAI收割 腐蚀科学与防护技术, 2009, 期号: 02 李春梅; 卫中领; 沈钰; 王增辉; 陈秋荣 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/01/06 电容式加速度传感器  硅硅键合  圆片级真空封装  电容间隙控制   一种电容间隙精确可控的高对称加速度传感器 期刊论文  OAI收割 固体电子学研究与进展, 2009, 期号: 01 毛健; 车录锋; 林友玲; 李玉芳; 周晓峰; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/01/06 微机电系统  扫描微镜  约束扭转  单晶硅直梁  横向弯矩  扭转力矩   一种圆片级硅三层键合的三明治加速度传感器 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2008, 期号: 02 徐玮鹤; 林友玲; 车录锋; 李玉芳; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/01/06 微机械探卡  芯片测试  悬臂梁  接触电阻   波长扩展InGaAs探测器的量子效率优化 期刊论文  OAI收割 半导体光电, 2008, 期号: 06 田招兵; 顾溢; 张晓钧; 张永刚 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/01/06 电容式加速度传感器  硅硅键合  圆片级真空封装   自呼吸式硅微机械氢燃料电池的阳极流场优化 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2007, 期号: 09 郑丹; 倪卫其; 姜伟; 张熙贵; 张鲲; 夏保佳 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/01/06 电容式加速度传感器  硅/硅键合  圆片级真空封装   一种硅四层键合的高对称电容式加速度传感器 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2007, 期号: 10 徐玮鹤; 车录锋; 李玉芳; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/01/06 纳米材料  β-Ni(OH)_2  ZnO  XRD多重宽化效应