机构

• 上海微系统与信息技... [28]
• 西安光学精密机械研究... [1]

采集方式

• OAI收割 [29]

内容类型

• 期刊论文 [29]

发表日期

• 2018 [1]
• 2010 [1]
• 2009 [1]
• 2008 [1]
• 2007 [1]
• 2006 [1]
• 更多

学科主题

• Physics, ... [29]

筛选

浏览/检索结果: 共29条，第1-10条 帮助 限定条件 学科主题：Physics, Applied     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Fabrication of planar optical waveguides by 6.0MeV silicon ion implantation in Nd-doped phosphate glasses 期刊论文  OAI收割 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2018, 卷号: 57, 期号: 4 作者:  Shen, Xiao-Liang;  Dai, Han-Qing;  Zhang, Liao-Lin;  Wang, Yue;  Zhu, Qi-Feng   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2018/04/02 Dynamic annealing versus thermal annealing effects on the formation of hydrogen-induced defects in silicon 期刊论文  OAI收割 APPLIED PHYSICS LETTERS, 2010, 卷号: 97, 期号: 19, 页码: 194101-194101 Di, ZF; Huang, MQ; Wang, YQ; Nastasi, M 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/03/24 SINGLE-CRYSTAL SILICON  INDUCED PLATELETS  IMPLANTATION  SI  TEMPERATURE  EXFOLIATION  COMPLEXES  FLUENCE  CUT   The use of nanocavities for the fabrication of ultrathin buried oxide layers 期刊论文  OAI收割 APPLIED PHYSICS LETTERS, 2009, 卷号: 94, 期号: 1, 页码: 11903-11903 Ou, X; Kogler, R; Mucklich, A; Skorupa, W; Moller, W; Wang, X; Vines, L 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/03/24 ION-IMPLANTATION  SOI MOSFETS  SILICON  SI  HELIUM  SEPARATION  DEFECTS  TEMPERATURE  HYDROGEN  BUBBLES   Efficient oxygen gettering in Si by coimplantation of hydrogen and helium 期刊论文  OAI收割 APPLIED PHYSICS LETTERS, 2008, 卷号: 93, 期号: 16, 页码: 161907-161907 Ou, X; Kogler, R; Mucklich, A; Skorupa, W; Moller, W; Wang, X; Gerlach, JW; Rauschenbach, B 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/03/24 INDUCED CAVITIES  SILICON  IMPLANTATION  DEFECTS  COPPER   Investigation of compositional gradient phase change SixSb2Te3 thin films 期刊论文  OAI收割 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS, 2007, 卷号: 46, 期号: 1-3, 页码: L70-L73 Zhang, T; Song, ZT; Liu, B; Feng, SL; Chen, B 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/03/24 GE2SB2TE5 FILM  CRYSTALLIZATION  IMPLANTATION  RESISTANCE  STORAGE  MEMORY   Fabrication of silicon-on-SiO2/diamondlike-carbon dual insulator using ion cutting and mitigation of self-heating effects 期刊论文  OAI收割 APPLIED PHYSICS LETTERS, 2006, 卷号: 88, 期号: 14, 页码: 142108-142108 Di, ZF; Chu, PK; Zhu, M; Fu, RKY; Luo, SH; Shao, L; Nastasi, M; Chen, P; Alford, TL; Mayer, JW; Zhang, M; Liu, WL; Song, ZT; Lin, CL 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/03/24 SILICON-ON-DIAMOND  IMPLANTATION  TECHNOLOGY  MOSFETS   Thermal stability of diamondlike carbon buried layer fabricated by plasma immersion ion implantation and deposition in silicon on insulator 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2005, 卷号: 98, 期号: 5, 页码: 53502-53502 Di, ZF; Huang, AP; Fu, RKY; Chu, PK; Shao, L; Hochbauer, T; Nastasi, M; Zhang, M; Liu, WL; Shen, QW; Luo, ST; Song, ZT; Lin, CG 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/03/24 DLC FILMS  SPECTROSCOPY   Formation of silicon-on-diamond by direct bonding of plasma-synthesized diamond-like carbon to silicon 期刊论文  OAI收割 APPLIED PHYSICS LETTERS, 2004, 卷号: 85, 期号: 13, 页码: 2532-2534 Zhu, M; Chu, PK; Shi, XJ; Wong, M; Liu, WL; Lin, CL 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/03/24 IMMERSION ION-IMPLANTATION  AMORPHOUS-CARBON  TECHNOLOGY  FILMS   Effects of buried oxide layer on indium diffusion in separation by implantation of oxygen 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2004, 卷号: 96, 期号: 6, 页码: 3217-3220 Chen, P; Zhu, M; Fu, RKY; Chu, PK; An, ZH; Liu, W; Montgomery, N; Biswas, S 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/03/24 TRANSIENT ENHANCED DIFFUSION  ON-INSULATOR FILMS  SILICON  SIO2  PERFORMANCE  CHANNEL  PROFILE  DEFECTS  SIMOX   Electron field emission from SiC/Si heterostructures by high temperature carbon implantation into silicon 期刊论文  OAI收割 APPLIED PHYSICS LETTERS, 2004, 卷号: 84, 期号: 26, 页码: 5461-5463 Xing, YM; Zhang, JH; Yang, WW; Yu, YH; Song, ZR; Lin, ZX; Shen, DS 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/03/24 DIAMOND-LIKE CARBON  ENHANCEMENT  ARRAYS  LAYERS  FILMS