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机构
上海微系统与信息技... [44]
采集方式
OAI收割 [44]
内容类型
期刊论文 [36]
会议论文 [3]
成果 [3]
专利 [2]
发表日期
2012 [1]
2010 [1]
2009 [1]
2008 [4]
2007 [3]
2006 [5]
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学科主题
Engineerin... [3]
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Physics, M... [3]
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共44条,第1-10条
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专题:上海微系统与信息技术研究所
第一署名单位
第一作者单位
通讯作者单位
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5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
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65
70
75
80
85
90
95
100
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SixSb2Te materials with stable phase for phase change random access memory applications
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2012, 卷号: 111, 期号: 5, 页码: 54319
Gu, YF
;
Song, SN
;
Song, ZT
;
Cheng, Y
;
Du, XF
;
Liu, B
;
Feng, SL
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2013/04/17
微机械热电堆红外探测器及其制造方法
成果
OAI收割
鉴定: 无, 2010
未知
收藏
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浏览/下载:32/0
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提交时间:2013/04/12
EPITAXIAL LATERAL OVERGROWTH OF GaN ON SILICON-ON-INSULATOR
期刊论文
OAI收割
MODERN PHYSICS LETTERS B, 2009, 卷号: 23, 期号: 15, 页码: 1881-1887
Zhang, B
;
Chen, J
;
Wang, X
;
Wu, AM
;
Luo, JX
;
Wang, X
;
Zhang, MA
;
Wu, YX
;
Zhu, JJ
;
Yang, H
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2011/11/04
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
LIGHT-EMITTING-DIODES
SI(111)
FILMS
REDUCTION
GROWTH
SUBSTRATE
STRESS
低能Ar离子束辅助沉积Cu、Ag、Pt薄膜
期刊论文
OAI收割
核技术, 2008, 期号: 01
江炳尧
;
冯涛
;
任琮欣
;
柳襄怀
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/01/06
TiCr基储氢合金
XRD
可逆储氢量
TG-DSC
A novel x-axis tuning fork gyroscope with "8 vertical springs-proofmass" structure on (111) silicon
期刊论文
OAI收割
MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2008, 卷号: 14, 期号: 7, 页码: 1009-1013
Duan, F
;
Jiao, JW
;
Wang, YC
;
Zhang, Y
;
Mi, BW
;
Li, JP
;
Wang, YL
收藏
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2011/12/17
SBM PROCESS
SILICON
A novel x-axis tuning fork gyroscope with "8 vertical springs-proofmass" structure on (111) silicon
期刊论文
OAI收割
MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2008, 卷号: 14, 期号: 7, 页码: 1009-1013
Duan, F
;
Jiao, JW
;
Wang, YC
;
Zhang, Y
;
Mi, BW
;
Li, JP
;
Wang, YL
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2011/12/17
SBM PROCESS
SILICON
A novel method to fabricate single crystal nano beams with (111)-oriented Si micromachining
期刊论文
OAI收割
MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2008, 卷号: 14, 期号: 8, 页码: 1185-1191
Yang, H
;
Xu, KF
;
Yang, YL
;
Li, T
;
Jiao, JW
;
Li, XX
;
Wang, YL
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2011/12/17
SILICON-WAFERS
Stress reduction in GaN films on (111) silicon-on-insulator substrate grown by metal-organic chemical vapor deposition
期刊论文
OAI收割
MATERIALS LETTERS, 2007, 卷号: 61, 期号: 22, 页码: 4416-4419
Sun,JY
;
Chen,J
;
Wang,X
;
Wang,JF
;
Liu,W
;
Zhu,JJ
;
Yang,H杨辉
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/24
ART.
HETEROEPITAXY
EVOLUTION
SI(111)
LAYERS
Experimental study on resonant response of piezoresistive double-clamped (111)-Si nano-beam
期刊论文
OAI收割
2007 2nd IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, Vols 1-3, 2007, 页码: 560-563
Zhao, QB
;
Jiao, JW
;
Yang, H
;
Duan, F
;
Lin, ZX
;
Li, T
;
Zhang, Y
;
Wang, YL
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2011/12/17
ATOMIC-FORCE MICROSCOPE
FABRICATION
CANTILEVERS
TECHNOLOGY
THICK
Experimental study on resonant response of piezoresistive double-clamped (111)-Si nano-beam
期刊论文
OAI收割
2007 2nd IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, Vols 1-3, 2007, 页码: 560-563
Zhao, QB
;
Jiao, JW
;
Yang, H
;
Duan, F
;
Lin, ZX
;
Li, T
;
Zhang, Y
;
Wang, YL
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2011/12/17
ATOMIC-FORCE MICROSCOPE
FABRICATION
CANTILEVERS
TECHNOLOGY
THICK