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• 上海微系统与信息技术... [4]
• 高能物理研究所 [1]

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• OAI收割 [5]

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• 期刊论文 [5]

发表日期

• 2017 [1]
• 2012 [1]
• 2011 [1]
• 2007 [2]

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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 存缴方式：oaiharvest    内容类型：期刊论文     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 微机械谐振式加速度计的研究现状及发展趋势 期刊论文  OAI收割 High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束, 2017, 卷号: 29, 期号: 8, 页码: 80201 作者:  高杨;  雷强;  赵俊武;  吕军光   |  收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2019/08/27 谐振器  谐振频率  灵敏度   MEMS谐振器的并联电容噪声抑制 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2012, 期号: 5, 页码: 318-322 唐梦; 冯明; 程新红 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/02/22 MEMS谐振器  质量传感器  生化检测  电容补偿  频率噪声   新型MEMS质量传感器的研究 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2011, 期号: 08 熊磊; 焦继伟; 葛道晗; 宓斌伟; 张轩雄 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/04/13 MEMS  谐振器  质量传感器  自补偿   基于BOE硅腐蚀现象的硅纳米线制作 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2007, 期号: 10 王慧泉; 郑阳明; 金仲和; 马慧莲; 李铁; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：75/0  |  提交时间：2012/01/06 车辆检测  视频检测  车辆跟踪   单片集成的高性能压阻式三轴高g加速度计的设计、制造和测试 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2007, 期号: 09 董培涛; 李昕欣; 张鲲; 吴学忠; 李圣怡; 封松林 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/01/06 MEMS  纳米梁  各向异性腐蚀  硅  纳米谐振器