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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助

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MEMS圆片级三维混合集成封装结构及方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN102241388A, 申请日期: 2011-11-16, 公开日期: 2011-11-16
徐高卫; 罗乐; 陈骁; 焦继伟; 宓斌玮
收藏  |  浏览/下载：75/0  |  提交时间：2012/01/06
新型MEMS质量传感器的研究 期刊论文  OAI收割
仪表技术与传感器, 2011, 期号: 08
熊磊; 焦继伟; 葛道晗; 宓斌伟; 张轩雄
收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/04/13
一种用于电容型体硅微陀螺的低噪声读出电路芯片 期刊论文  OAI收割
电子与信息学报, 2010, 期号: 01
尹韬; 杨海钢; 张翀; 吴其松; 焦继伟; 宓斌玮
收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2012/01/06
微机械陀螺DRIE刻蚀过程中的局域掩膜效应 期刊论文  OAI收割
传感技术学报, 2010, 期号: 08
冷悦; 焦继伟; 张颖; 顾佳烨; 颜培力; 宓斌玮
收藏  |  浏览/下载：55/0  |  提交时间：2012/01/06
A novel x-axis tuning fork gyroscope with "8 vertical springs-proofmass" structure on (111) silicon 期刊论文  iSwitch采集
Microsystem technologies-micro-and nanosystems-information storage and processing systems, 2008, 卷号: 14, 期号: 7, 页码: 1009-1013
作者:  Duan, Fei;  Jiao, Jiwei;  Wang, Yucai;  Zhang, Ying;  Mi, Binwei
收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2019/05/10
一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型硅微加速度计 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2007, 期号: 05
王育才; 焦继伟; 段飞; 张颖; 宓斌玮; 李金鹏; 钱清; 王跃林
收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2012/01/06
基于“8悬臂梁-质量块”结构的新颖x轴音叉式硅微机械陀螺 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2007, 期号: 10
段飞; 焦继伟; 王育才; 张颖; 宓斌玮; 李金鹏; 钱清; 王跃林
收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/01/06