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机构
上海微系统与信息技术... [6]
采集方式
OAI收割 [6]
内容类型
会议论文 [3]
专利 [1]
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2006 [1]
2005 [4]
2003 [1]
学科主题
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共6条,第1-6条
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SGOI、SODI新结构材料及其相关技术研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
狄增峰
收藏
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基于注氧隔离技术的绝缘体上锗硅材料及其制备方法
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN1588619, 申请日期: 2005-03-02, 公开日期: 2005-03-02
狄增峰
;
安正华
;
张苗
;
林成鲁
收藏
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改进型Ge浓缩技术制备SGOI及其机理研究
会议论文
OAI收割
第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005
张苗
;
狄增峰
;
刘卫丽
;
骆苏华
;
宋志棠
;
朱剑豪
;
林成鲁
收藏
  |  
Ge浓缩技术制备SGOI过程中应力释放机理
会议论文
OAI收割
第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005
刘卫丽
;
狄增峰
;
张苗
;
骆苏华
;
宋志棠
;
朱剑豪
;
林成鲁
收藏
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SOI在射频电路中的应用
期刊论文
OAI收割
微电子学, 2005, 期号: 01
骆苏华
;
刘卫丽
;
张苗
;
狄增峰
;
王石冶
;
宋志棠
;
孙晓玮
;
林成鲁
收藏
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超薄SOI上应变锗硅材料的生长
会议论文
OAI收割
第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会, 2003
狄增峰
;
张苗
;
吴雁军
;
安正华
;
朱鸣
;
刘卫丽
;
林成鲁
收藏
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