中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页
机构
成果
学者
登录
注册
登陆
×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
校外用户登录
CAS IR Grid
机构
长春应用化学研究... [106]
上海应用物理研究所 [83]
物理研究所 [33]
高能物理研究所 [25]
化学研究所 [18]
微电子研究所 [15]
更多
采集方式
OAI收割 [298]
iSwitch采集 [20]
内容类型
期刊论文 [311]
会议论文 [7]
发表日期
2018 [3]
2017 [10]
2015 [34]
2014 [3]
2013 [19]
2012 [12]
更多
学科主题
Physics [53]
Astronomy ... [6]
Chemistry [5]
Chemistry;... [3]
Fisheries [3]
Materials ... [3]
更多
筛选
浏览/检索结果:
共318条,第1-10条
帮助
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
题名升序
题名降序
提交时间升序
提交时间降序
作者升序
作者降序
发表日期升序
发表日期降序
Lead Oxalate-Induced Nucleation Retardation for High-Performance Indoor and Outdoor Perovskite Photovoltaics
期刊论文
OAI收割
ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, 2020, 卷号: 12, 期号: 1, 页码: 836-843
作者:
Dong, C
;
Li, M
;
Zhang, Y
;
Wang, KL
;
Yuan, S
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:25/0
  |  
提交时间:2021/09/06
SOLAR-CELLS
HIGH-EFFICIENCY
SPRAY DEPOSITION
VAPOR
TRIHALIDE
A Novel High Volume Manufacturing Method for Defect-free and High-yield SiN Micro-sieve Membranes
期刊论文
OAI收割
Journal of Microelectronic Manufacturing, 2018
作者:
Zhao C(赵超)
;
Wei YY(韦亚一)
;
Chen R(陈睿)
;
Dong LS(董立松)
;
Liu YS(刘艳松)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:37/0
  |  
提交时间:2019/05/05
Retargeting of forbidden-dense-alternate structures for lithography capability improvement in advanced nodes
期刊论文
OAI收割
APPLIED OPTICS, 2018
作者:
He JF(何建芳)
;
Dong LS(董立松)
;
Ye TC(叶甜春)
;
Zhao LJ(赵利俊)
;
Wei YY(韦亚一)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:24/0
  |  
提交时间:2019/05/05
Pattern quality and defect evaluation based on cross correlation and power spectral density methods
期刊论文
OAI收割
J Vac Sci Technol B, 2018
作者:
Zhang LB(张利斌)
;
Ma L(马乐)
;
Chen R(陈睿)
;
He JF(何建芳)
;
Su XJ(苏晓菁)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:25/0
  |  
提交时间:2019/05/05
Characteristic study of image-based alignment for increasing accuracy in lithography application
期刊论文
OAI收割
Journal of Vacuum Science & Technology B, 2017
作者:
Zhang LB(张利斌)
;
Dong LS(董立松)
;
Su XJ(苏晓菁)
;
Wei YY(韦亚一)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:17/0
  |  
提交时间:2018/07/09
Applications of RCWA on EUV mask optics
会议论文
OAI收割
作者:
Fan TA(范泰安)
;
Dong LS(董立松)
;
Wei YY(韦亚一)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:11/0
  |  
提交时间:2018/07/26
Necessity of resist model in source mask optimization for negative tone development process
期刊论文
OAI收割
J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, 2017
作者:
Wei YY(韦亚一)
;
Dong LS(董立松)
;
Zhao LJ(赵利俊)
;
Chen WH(陈文辉)
;
Ye TC(叶甜春)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:21/0
  |  
提交时间:2018/06/08
Optimization of the focus monitor mark in immersion lithography according to illumination type
期刊论文
OAI收割
J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, 2017
作者:
Zhang LB(张利斌)
;
Wei YY(韦亚一)
;
He JF(何建芳)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:20/0
  |  
提交时间:2018/06/08
Mitigating the influence of wafer topography on the implantation process in optical lithography
期刊论文
OAI收割
Optics Letter, 2017
作者:
Su XJ(苏晓菁)
;
Dong LS(董立松)
;
Chen WH(陈文辉)
;
Fan TA(范泰安)
;
Wei YY(韦亚一)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:19/0
  |  
提交时间:2018/06/08
An off-line roughness evaluation software and its application in quantitative calculation of wiggling based on low frequency power spectrum density method
会议论文
OAI收割
作者:
Zhao LJ(赵利俊)
;
Zhang LB(张利斌)
;
Dong LS(董立松)
;
Su XJ(苏晓菁)
;
Liu YS(刘艳松)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:12/0
  |  
提交时间:2018/07/26