机构

• 上海微系统与信息技术... [3]
• 半导体研究所 [2]
• 近代物理研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [7]

内容类型

• 期刊论文 [7]

发表日期

• 2001 [2]
• 1993 [4]
• 1992 [1]

学科主题

• Instrument... [3]
• 半导体材料 [2]

筛选

浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 离子辐照对单晶Si中预注入B原子扩散的影响 期刊论文  OAI收割 高能物理与核物理, 2001, 卷号: 2001, 期号: 12, 页码: 1238-1244 刘昌龙,B.J.Sealy,A.Nejim,R.M.Gwilliam   |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/10/29 注入  瞬间增强扩散  二次离子质谱仪  单晶si   Effects of ion irradiation on the diffusion of pre-implanted B atoms in crystalline silicon 期刊论文  OAI收割 HIGH ENERGY PHYSICS AND NUCLEAR PHYSICS-CHINESE EDITION, 2001, 卷号: 25, 期号: 1, 页码: 1238-1244 作者:  Sealy, BJ;  Liu, CL;  Nejim, A;  Gwilliam, RM   |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/10/29 implantation  transient enhanced diffusion  secondary ion mass spectrometer  crystalline silicon   ELECTRICAL CHARACTERIZATION OF THIN-FILM SIMOX STRUCTURES 期刊论文  OAI收割 NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1993, 卷号: 74, 期号: 1-2, 页码: 218-221 ZHU, WH; LIN, CL; SHI, ZY; Zou, SC(邹世昌）; HEMMENT, PLF; NEJIM, A 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/03/25 SILICON  LAYERS   INVESTIGATION OF BURIED ALN LAYERS FORMED BY NITROGEN IMPLANTATION INTO AL 期刊论文  OAI收割 NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1993, 卷号: Jan-80, 页码: 323-326 LIN, C; LI, Y; KILNER, JA; CHATER, RJ; LI, J; NEJIM, A; ZHANG, JP; HEMMENT, PLF 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/03/25 INSULATOR STRUCTURES OBTAINED BY HIGH-DOSE NITROGEN IMPLANTATION INTO ALUMINUM ON SILICON 期刊论文  OAI收割 NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1993, 卷号: 74, 期号: 1-2, 页码: 206-209 LIN,CL; HEMMENT,PLF; NEJIM,A; ZHANG,JP; LI,JH; Zou,SC(邹世昌） 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/03/25 NITRIDE   INVESTIGATION OF BURIED ALN LAYERS FORMED BY NITROGEN IMPLANTATION INTO AL 期刊论文  OAI收割 nuclear instruments & methods in physics research section b-beam interactions with materials and atoms, 1993, 卷号: 80-81, 期号: 0, 页码: 323-326 LIN C; LI Y; KILNER JA; CHATER RJ; LI J; NEJIM A; ZHANG JP; HEMMENT PLF 收藏  |  浏览/下载：67/0  |  提交时间：2010/11/15 DELINEATION OF DEFECTS IN SIMOX STRUCTURES USING A CHEMICAL ETCHING TECHNIQUE 期刊论文  OAI收割 vacuum, 1992, 卷号: 43, 期号: 4, 页码: 297-299 GILES LF; NEJIM A; HEMMENT PLF; FAN TW 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2010/11/15 IMPLANTATION