机构

• 微电子研究所 [2]
• 上海光学精密机械研究... [2]
• 合肥物质科学研究院 [2]
• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [7]

内容类型

• 期刊论文 [6]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2019 [1]
• 2010 [1]
• 2006 [1]
• 2005 [1]
• 2004 [1]
• 2000 [1]
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学科主题

• 光学薄膜 [1]

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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用 期刊论文  OAI收割 强激光与粒子束, 2019, 卷号: 031 作者:  游利兵;  程超;  方晓东   |  收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2020/11/23 全固态高压脉冲电源  半导体光刻  准分子激光  磁开关  闸流管   准分子激光技术发展（邀请论文） 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2010, 卷号: 000 作者:  余吟山;  游利兵;  梁勖;  方晓东   |  收藏  |  浏览/下载：49/0  |  提交时间：2020/11/23 激光器  准分子激光技术  放电激励  光刻   光刻机系统中193nm薄膜的研究进展 期刊论文  OAI收割 激光与光电子学进展, 2006, 卷号: 43, 期号: 1, 页码: 11, 14 尚淑珍; 易葵; 邵建达; 范正修 收藏  |  浏览/下载：1141/120  |  提交时间：2009/09/22 光刻  193nm  光学薄膜  准分子激光光刻  光刻机系   准分子激光光束均匀技术 期刊论文  OAI收割 激光技术, 2005, 卷号: 29, 期号: 2, 页码: 207, 209,212 叶震寰; 楼祺洪; 李红霞; 董景星; 魏运荣 收藏  |  浏览/下载：1530/188  |  提交时间：2009/09/18 准分子激光  光束均匀  蝇眼  光刻   用于100nm节点ArF准分子激光光刻的相移掩模技术 期刊论文  OAI收割 光电工程, 2004, 卷号: 31, 期号: 1, 页码: 1-4,39 作者:  陈宝钦;  冯伯儒;  张锦;  宗德蓉;  刘娟   |  收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2010/05/26 激光光刻技术  相移掩模  准分子光刻  无铬相移掩模  交替相移掩模  衰减相移掩模  混合相移掩模   KrF准分子激光相移掩模光刻技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2000 孙方 收藏  |  浏览/下载：103/0  |  提交时间：2013/11/19 光刻  KrF准分子激光  相移掩模  分辨率  焦深   用KrF准分子激光移相光刻研制深亚微米栅长InP／In0.75Ga0.25As／InP HEMT 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 1997, 期号: 6, 页码: 4，47-50 作者:     |  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2010/05/25 Hemt器件  移相光刻  准分子激光  深亚微米栅