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浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 变结构反应离子刻蚀腔室流场热场的数值仿真 期刊论文  OAI收割 激光技术, 2019, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 136-142 作者:  张景文;  范斌;  李志炜;  汉语   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2021/05/11 光学制造  反应离子刻蚀  变结构腔室  流热场分布  滑移区稀薄气体  数值模拟   宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2015, 期号: 07, 页码: 1978-1983 作者:  吴娜;  谭鑫;  于海利;  张方程 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/07/06 全息光栅  宽波段光栅  离子束刻蚀  刻蚀模拟   离子束刻蚀光栅掩模图形转移分析 期刊论文  OAI收割 长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 628-632 吴娜 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2015/04/17 衍射效率  刻蚀模拟  全息光栅   闪耀全息光栅离子束刻蚀工艺模拟及实验验证 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2012, 期号: 09, 页码: 1904-1912 吴娜; 谭鑫; 巴音贺希格; 唐玉国 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2013/03/11 闪耀光栅  全息光栅  衍射效率  刻蚀模拟  离子束刻蚀   单晶硅纳米梁的分子动力学模拟 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2006, 期号: 05 曹共柏; 焦继伟; 陈云飞; 李铁; 杨恒; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/01/06 微喷阵列芯片  微阵列  深反应离子刻蚀  计算流体力学模拟   一种微梁直拉直压高灵敏度高带宽微机械压阻式加速度传感器 会议论文  OAI收割 第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003 黄树森; 李昕欣; 戈肖鸿; 解健芳; 陈士清; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/01/18 微梁直拉直压 压阻 加速度传感器 有限元模拟 深反应离子刻蚀(DRIE)   反应离子深刻蚀的模型模拟与深刻蚀的工艺研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海冶金研究所）  , 1993 姜建东 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/03/06 反应离子深刻蚀  模型模拟  深刻蚀硅  工艺   离子剥离逐层分析的计算机模拟 期刊论文  OAI收割 金属学报, 1986, 期号: 5, 页码: 128-133 曲哲; 谢天生 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/04/12 计算机模拟:5236  逐层分析:4387  剥离系数:4018  离子轰击:2562  分布曲线:2504  数学模型:2479  表面浓度:2278  元素:2202  离子能量:2069  离子刻蚀技术:1969