机构

• 上海微系统与信息技术... [7]
• 电子学研究所 [1]
• 科技战略咨询研究院 [1]
• 上海技术物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [10]

内容类型

• 学位论文 [5]
• 期刊论文 [5]

发表日期

• 2021 [1]
• 2009 [1]
• 2008 [4]
• 2007 [2]
• 2006 [2]

学科主题

• 红外探测材料与器件 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 实施国家数字科技战略 为群体创新突破按下“加速键” 期刊论文  OAI收割 理论导报, 2021, 期号: 01, 页码: 32-34 作者:  张越;  王晓明   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2022/01/26 新型研发机构  数字科技  第四次工业革命  量子计算  人工智能  科技创新体系  科技创新主体  新一代信息技术  战略制高点  领军企业  工业互联网  数据科学  群体创新  加速键   镁合金AZ31化学成膜及其耐蚀性研究 期刊论文  OAI收割 腐蚀科学与防护技术, 2009, 期号: 02 李春梅; 卫中领; 沈钰; 王增辉; 陈秋荣 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/01/06 电容式加速度传感器  硅硅键合  圆片级真空封装  电容间隙控制   基于自停止腐蚀的双面梁-质量块结构加速度传感器研究 学位论文  OAI收割 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2008 肖飞 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2012/03/06 微电子机械系统  加速度传感器  自停止腐蚀  硅-硅键合   波长扩展InGaAs探测器的量子效率优化 期刊论文  OAI收割 半导体光电, 2008, 期号: 06 田招兵; 顾溢; 张晓钧; 张永刚 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2012/01/06 电容式加速度传感器  硅硅键合  圆片级真空封装   一种电容间隙精确可控的硅硅键合三明治加速度传感器 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 毛健 收藏  |  浏览/下载：42/0  |  提交时间：2012/03/06 电容式加速度传感器  硅硅键合  圆片级真空封装  电容间隙控制     基于自停止腐蚀的双面梁—质量块结构加速度传感器研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 肖飞   收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/03/06 微电子机械系统  加速度传感器  自停止腐蚀  硅-硅键合     自呼吸式硅微机械氢燃料电池的阳极流场优化 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2007, 期号: 09 郑丹; 倪卫其; 姜伟; 张熙贵; 张鲲; 夏保佳 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/01/06 电容式加速度传感器  硅/硅键合  圆片级真空封装   硅四层键合MEMS电容式加速度传感器研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 徐玮鹤   收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/03/06 电容式加速度传感器  硅-硅键合  圆片级真空封装     星载碲镉汞红外探测器的可靠性研究 学位论文  OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2006 作者:  刘大福   |  收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/08/14 红外探测器  碲镉汞  可靠性  键合  加速实验  电流机制  I-v   一种扭摆式硅微机械加速度传感器 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2006, 卷号: 25, 期号: 8, 页码: 85-88 毋正伟，陈德勇，杨苗苗，徐磊 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/09/02 加速度传感器 体硅工艺 电容式 阳极键合 微机电系统