机构

• 上海微系统与信息技术... [6]
• 长春光学精密机械与物... [3]
• 微电子研究所 [2]
• 过程工程研究所 [2]
• 长春应用化学研究所 [1]
• 西安光学精密机械研究... [1]
• 更多

采集方式

• OAI收割 [15]

内容类型

• 期刊论文 [10]
• 学位论文 [3]
• 会议论文 [2]

发表日期

• 2014 [1]
• 2011 [1]
• 2007 [1]
• 2006 [2]
• 2005 [1]
• 2004 [1]
• 更多

学科主题

• 电子物理 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共15条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 InGaAs/GaAs异质结材料的MOCVD生长及性质研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院大学, 2014 韩智明 收藏  |  浏览/下载：279/0  |  提交时间：2015/05/03 金属有机化合物化学气相淀积  两步生长法  铟镓砷  砷化镓  缓冲层   利用In_(0.82)Ga_(0.18)As与InP衬底之间的应力制作结构材料的缓冲层 期刊论文  OAI收割 发光学报, 2011, 期号: 06, 页码: 612-616 作者:  缪国庆 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2013/03/11 In0.82Ga0.18As  金属有机化学气相淀积  缓冲层   氧气吸附对碳纳米管电子特性的影响 期刊论文  OAI收割 电子器件, 2007, 期号: 6 作者:  吴军;  黄钦文;  叶甜春;  陈永胜;  陈大鹏   |  收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2010/05/26 碳纳米管  吸附  氧化  气体传感器  化学气相淀积   基于MEMS技术的红外成像焦平面阵列 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 1, 页码: 150-155 作者:  李超波;  焦斌斌;  石莎莉;  叶甜春;  陈大鹏   |  收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2010/05/26 微机械  焦平面阵列  光力学  低压化学气相淀积  氮化硅  噪声等效温度差   MOCVD TiN薄膜在先进集成电路制造中应用的研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 易万兵   收藏  |  浏览/下载：83/0  |  提交时间：2012/03/06 氮化钛  半导体制造  薄膜电阻率  晶体结构  金属有机物化学气相淀积     基于非参数背景抑制的弱小目标管线法检测 期刊论文  OAI收割 光学技术, 2005, 期号: 04 张飞; 李承芳; 史丽娜; 孙晓玮 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/01/06 化学气相淀积  集成电路制造  后段工艺   在ZnO/Si衬底上ZnCdSe/ZnSe多量子阱的生长与光学特性 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2004, 期号: 03, 页码: 297-300 作者:  张振中 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/03/11 薄膜物理学  Si衬底  ZnCdSe/ZnSe量子阱  低压金属有机化学气相淀积   SiGe-On-Insulator新结构的SIMOX制备 会议论文  OAI收割 第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会, 2003 安正华; 刘卫丽; 张苗; 林成鲁 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/01/18 SIMOX制备 化学气相淀积 Si衬底 退火工艺 SiGeOI结构   结核分支杆菌异烟肼耐药基因突变微通道电泳检测方法的建立 期刊论文  OAI收割 中华结核和呼吸杂志, 2003, 期号: 12 王吉; 崔振玲; 景奉香; 金庆辉; 赵建龙; 胡忠义; 徐元森 收藏  |  浏览/下载：52/0  |  提交时间：2012/01/06 高温压力传感器  SIMOX  低压化学气相淀积  电感耦合等离子体深刻蚀   采用局域注氧技术制备的新型DSOI场效应晶体管的热特性(英文) 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2003, 期号: 02 林羲; 何平; 田立林; 李志坚; 董业民; 陈猛; 王曦 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2012/01/06 微电子机械系统  微桥  低压化学气相淀积  氮化硅  弹性模量  残余应力  弯曲强度