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浏览/检索结果: 共34条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 变结构反应离子刻蚀腔室流场热场的数值仿真 期刊论文  OAI收割 激光技术, 2019, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 136-142 作者:  张景文;  范斌;  李志炜;  汉语   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2021/05/11 光学制造  反应离子刻蚀  变结构腔室  流热场分布  滑移区稀薄气体  数值模拟   大高宽比纳米硅立柱的感应耦合等离子体刻蚀工艺优化 期刊论文  OAI收割 强激光与粒子束, 2017, 期号: 7, 页码: "77-81" 作者:  李欣;  刘建朋;  陈烁;  张思超;  邓彪   |  收藏  |  浏览/下载：49/0  |  提交时间：2018/08/17 Hsq  深反应离子刻蚀  硅纳米柱  高宽比  硬x射线   新型高效率传输阵列天线研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院国家空间科学中心, 2016 作者:  刘广 收藏  |  浏览/下载：65/0  |  提交时间：2016/07/15 传输阵列天线  微波网络理论  太赫兹  UV-LIGA  深反应离子刻蚀技术  高效率   用于非球面检测的计算全息图制作研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院大学, 2014 赵龙波 收藏  |  浏览/下载：56/0  |  提交时间：2015/05/03 计算全息图  非球面检测  激光直写  反应离子刻蚀  衍射光学元件加工   谐振式微型电场传感器制作工艺研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2013 刘伟 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2013/06/09 谐振式  绝缘体上硅  微型电场传感器  聚酰亚胺  深度反应离子刻蚀   基于NEMS技术的介电泳芯片及其关键工艺问题的研究 会议论文  OAI收割 第八届中国微米/纳米技术学术年会, 2006 刘泳宏; 赵湛 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2010/09/04 生物传感器  介电泳  反应离子刻蚀  NEMS技术   DFT扩频广义多载波的系统仿真 期刊论文  OAI收割 微计算机信息, 2010, 期号: 07 徐其; 李明齐; 卜智勇 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/01/06 深反应离子刻蚀  锯齿流道  压电微泵  性能  效率   总剂量辐射下的NMOS/SOI器件背栅阈值电压漂移模型 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2010, 期号: 04 贺威; 张正选 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/01/06 超导纳米线单光子探测器  电子束曝光  反应离子刻蚀  探测效率   基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究 期刊论文  OAI收割 测试技术学报, 2010, 期号: 05 高安然; 李铁; 刘翔; 焦继伟; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/01/06 MEMS陀螺  深反应离子刻蚀  非对称结构  局域掩膜效应  模态失配   微机械陀螺的深刻蚀工艺及器件和板级热模型研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 冷悦 收藏  |  浏览/下载：45/0  |  提交时间：2012/03/06 微机电系统  微机械陀螺  深反应离子刻蚀  局域掩膜效应  热模型