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内容类型

• 期刊论文 [9]
• 学位论文 [2]

发表日期

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学科主题

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浏览/检索结果: 共11条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 硅微机械二维加速度计的结构设计 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2009, 卷号: 028 -   |  收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2020/10/26 微加速度计  梳状电极  有限元仿真   带有位移检测功能的纳米级定位平台 期刊论文  OAI收割 纳米技术与精密工程, 2008, 期号: 05 王家畴; 荣伟彬; 李昕欣; 孙立宁 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/01/06 微电子机械系统  微加速度计  Hopkinson杆  校准   “8悬臂梁-质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文  OAI收割 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007 王育才 收藏  |  浏览/下载：99/0  |  提交时间：2012/03/06 微加速度计  8悬臂梁-质量块  微机械加工  各向异性腐蚀   铰链式高冲击微加速度传感器封装的有限元模拟 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2007, 期号: 02 车录锋; 卢云; 徐志农 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/01/06 微加速度计  微机械加工  各向异性腐蚀   “8悬臂梁—质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 王育才   收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/03/06 微加速度计  8悬臂梁-质量块  微机械加工  各向异性腐蚀     一种硅梁谐振加速度结构设计与模拟分析 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2007, 卷号: 44, 期号: 7, 页码: 282-284 陈德勇; 陈健; 毋正伟; 王军波; 陈李 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2010/05/19 谐振加速度计  微杠杠结构  差分输出   MEMS和微流体分析系统的发展 期刊论文  OAI收割 光机电信息, 2003, 期号: 07, 页码: 27-31 作者:  吴一辉 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2013/03/11 MEMS技术:6304  微型全分析系统:4765  微流体:4334  压力传感器:2159  分析仪器:1871  加速度计:1775  流体分析:1530  微制造技术:1371  微小化:1291  仪器仪表:1244   压阻式高量程微加速度计的冲击校准 期刊论文  OAI收割 传感器技术, 2003, 卷号: 22, 期号: 11, 页码: 78-80 作者:  郇勇;  张泰华;  杨业敏;  王钻开;  陆德仁 收藏  |  浏览/下载：1070/102  |  提交时间：2007/06/15 微电子机械系统  微加速度计  Hopkinson杆  校准   用Hopkinson杆冲击加载研究高量程微加速度计芯片的抗过载能力 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2003, 卷号: 16, 期号: 2, 页码: 128-131 作者:  郇勇;  张泰华;  杨业敏;  曾昭君 收藏  |  浏览/下载：1522/163  |  提交时间：2007/06/15 微加速度计  Hopkinson  杆  抗过载能力   微加速度计在冲击载荷作用下的失效分析 期刊论文  OAI收割 机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 516 作者:  王立森;  胡宇群;  李志宏;  余同希;  赵亚溥 收藏  |  浏览/下载：1259/34  |  提交时间：2010/05/03 微加速度计  体硅加工工艺  冲击载荷  失效分析  粘附