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• 期刊论文 [6]
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发表日期

• 2016 [1]
• 2005 [1]
• 2004 [1]
• 2003 [3]
• 2002 [1]

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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  方伟 收藏  |  浏览/下载：157/0  |  提交时间：2016/11/28 Ptychography  PIE  相位恢复  波像差  光刻投影物镜  极紫外光刻   粗糙度对极紫外投影光刻掩模的影响 期刊论文  OAI收割 光电工程, 2005, 期号: 10, 页码: 80-83 作者:  金春水 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/03/11 极紫外投影光刻  掩模  粗糙度  反射光谱  多层膜   现代光刻技术 期刊论文  OAI收割 核技术, 2004, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 81-86 作者:  叶甜春;  陈大鹏   |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2010/05/26 光刻  分辨力  X射线光刻技术  电子束直写  极紫外线投影光刻  离子束投影光刻   极紫外投影光刻掩模技术 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2003, 期号: 03, 页码: 16-21+41 作者:  金春水 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2013/03/11 极紫外  投影光刻  多层膜  掩模   偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调 期刊论文  OAI收割 光学仪器, 2003, 期号: 04, 页码: 39-43 作者:  金春水 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2013/03/11 极紫外投影光刻  Schwarzschild投影物镜  计算机辅助装调   离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2003, 期号: 02, 页码: 144-150 作者:  金春水 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2013/03/11 极紫外投影光刻  光学系统装调  奇异值分解   极紫外投影光刻原理装置的集成研究 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2002, 期号: 07, 页码: 852-857 作者:  金春水 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2013/03/11 极紫外  极紫外投影光刻  多层膜反射镜  Schwarzschild物镜