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OAI收割 [15]
内容类型
期刊论文 [9]
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发表日期
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学科主题
光学薄膜 [4]
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催化燃烧式微型氢气传感器研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2013
刘西锋
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浏览/下载:214/0
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提交时间:2013/06/09
MEMS
氢气传感器
氧化铪
催化燃烧式气体传感器
纳米氧化锡
薄膜宏观应力的微观表征方法研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013
作者:
蔺玲
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2016/11/28
二氧化铪薄膜,残余应力,弹性常数,微观表征,掠入射X射线衍射
高性能氧化铪薄膜的研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2010
作者:
刘丰
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2016/11/28
氧化铪薄膜
光学性能
激光损伤阈值
电子束沉积
离子束技术
高介电栅介质材料HfO2掺杂后的物理电学特性(英文)
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2009, 卷号: 15, 期号: 1, 页码: 71-74
作者:
武德起
;
姚金城
;
赵红生
;
张东炎
;
常爱民
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/11/29
高介电栅介质材料
激光分子束外延
二氧化铪
离子束辅助反应制备的氧化铪薄膜特性
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 12, 页码: 2087
王聪娟
;
晋云霞
;
邵建达
;
范正修
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浏览/下载:886/173
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提交时间:2009/09/22
薄膜
Thin film
氧化铪
Hafnium oxide
离子束辅助
Ion-assisted deposition
反应沉积
Reactive deposition
两种后处理方法对HfO2薄膜性能的影响
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2007, 卷号: 36, 期号: 9, 页码: 1683, 1686
尚光强
;
王聪娟
;
袁磊
;
贺洪波
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:978/192
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提交时间:2009/09/22
氧化铪薄膜
薄膜退火
抗激光损伤阂值
薄膜吸收
氧离子束辅助沉积氧化铪薄膜的激光损伤阈值研究
期刊论文
OAI收割
激光杂志, 2007, 卷号: 28, 期号: 3, 页码: 31, 32
张大伟
;
吕玮阁
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:1326/178
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提交时间:2009/09/22
离子束辅助沉积
氧化铪
激光损伤阈值
微弱吸收
HfO_2/Si(001)界面层的TEM研究
期刊论文
OAI收割
电子显微学报, 2006, 期号: S1, 页码: 95-96
卓木金
;
马秀良
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/04/12
界面层厚度:7807
栅介质层:3216
相对介电常数:2195
薄膜:2048
二氧化硅:1902
氧化铪:1889
透射电子显微镜:1813
等效厚度:1778
退火温度:1778
化学成分:1696
采用新的T型发射极技术的自对准InP/GaInAs单异质结双极晶体管的性能(英文)
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2006, 期号: 03
苏树兵
;
刘训春
;
刘新宇
;
于进勇
;
王润梅
;
徐安怀
;
齐鸣
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/01/06
二氧化铪
离子束增强沉积
高k电介质
SiC/Si异质结构和HfO_2高κ薄膜制备及其性能研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
邢玉梅
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2012/03/06
SiC
离子注入
场发射
氧化铪
电子束蒸发