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机构
上海微系统与信息技术... [8]
兰州化学物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [9]
内容类型
期刊论文 [5]
会议论文 [3]
学位论文 [1]
发表日期
2011 [1]
2007 [1]
2006 [1]
2004 [3]
2003 [2]
1993 [1]
更多
学科主题
材料科学与物理化学 [1]
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浏览/检索结果:
共9条,第1-9条
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应用埋氧层注氮工艺对SIMOX SOI材料辐射加固的研究
会议论文
OAI收割
第八届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术交流会, 2011
郑中山
;
刘忠立
;
张国强
;
李宁
;
李国花
;
张恩霞
;
张正选
;
王曦
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浏览/下载:36/0
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提交时间:2012/01/18
埋氧层注氮工艺 SIMOX材料 离子注入 氮注入 抗辐射加固 C-V平带电压
一种新颖的半圆形缺陷地结构微带线
期刊论文
OAI收割
电子学报, 2007, 期号: 06
林水洋
;
顾建忠
;
田为中
;
孙晓玮
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浏览/下载:36/0
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提交时间:2012/01/06
SIMOX
埋氧
注氮
固定正电荷密度
离子注入SOI材料的总剂量辐照效应研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
张恩霞
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2012/03/06
SOI
氧氮共注
SIMOX
总剂量辐照效应
Pseudo-MOS
氧氮共注入提高SIMOX材料抗辐射性能研究
会议论文
OAI收割
上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会, 2004
张恩霞
;
钱聪
;
张正选
;
王曦
;
张国强
;
李宁
;
郑中山
;
刘忠立
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2012/01/18
氧氮共注 离子注入 辐照加固 半导体器件
感性负载驱动控制IC版图设计
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2004, 期号: 10
王家斌
;
高勇进
;
黄绪江
;
张炜
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2012/01/06
氧氮共注
氮氧共注隔离
SIMON
SOI
注入剂量
CD/DVD-ROM马达驱动电路AAI5954设计开发
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2004, 期号: 08
张炜
;
高勇进
;
黄绪江
;
王家斌
收藏
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浏览/下载:83/0
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提交时间:2012/01/06
SIMOX
埋氧
辐射硬度
注氮
微桥法研究低应力氮化硅力学特性及误差分析
期刊论文
OAI收割
机械强度, 2003, 期号: 04
宗登刚
;
王钻开
;
陆德仁
;
王聪和
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浏览/下载:51/0
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提交时间:2012/01/06
氧氮共注
SIMON
SOI
离子注入
氧氮共注SOI材料结构与注氮剂量研究
会议论文
OAI收割
第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会, 2003
张恩霞
;
易万兵
;
陈孟
;
张正选
;
王曦
;
张国强
;
刘忠立
;
范凯
;
李宁
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/01/18
SOI材料 注氮剂量 氧氮共注 SIMON圆片
基体预注氮改善PECVD TiN镀层的耐磨性能
期刊论文
OAI收割
摩擦学学报, 1993, 卷号: 13, 期号: 2, 页码: 137-144
张平余
;
刘洪
;
张军
;
王秀娥
;
张绪寿
收藏
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2014/11/19
离子注氮
基体预处理
TiN镀层
结合强度
耐磨性
nitrogen implantation
substrate pretreatment
TiN coatings
adhesive strength
anti-wear properties