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学科主题
红外探测材料与器件 [1]
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GaN湿法刻蚀方法及其应用研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所, 2018
作者:
张淼荣
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表面集成微光学元件垂直腔面发射激光器研究
学位论文
OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
黄佑文
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痕量氢气法监测硅中阶梯光栅湿法刻蚀截止点
期刊论文
OAI收割
长春工业大学学报, 2015, 期号: 05, 页码: 496-502
作者:
王军
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硅中阶梯光栅的湿法刻蚀技术
期刊论文
OAI收割
长春工业大学学报, 2015, 期号: 04, 页码: 390-394
作者:
焦庆斌
收藏
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小顶角平台硅中阶梯光栅光刻胶掩模制备工艺研究
期刊论文
OAI收割
长春工业大学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 288-292
作者:
焦庆斌
收藏
  |  
超声波震荡法及润湿性增强法对单晶硅阶梯光栅闪耀面粗糙度的影响
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2014, 期号: 3, 页码: 53-59
焦庆斌
;
巴音贺希格
;
谭鑫
;
李艳茹
;
朱继伟
;
吴娜
收藏
  |  
基于Logistic回归的湿法刻蚀腔体气流场参数分析
期刊论文
OAI收割
机械设计与制造, 2012, 期号: 6, 页码: 223-225
作者:
王靖震
;
刘伟军
收藏
  |  
KDP/DKDP晶体和熔石英激光损伤及抑制技术研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2011
作者:
胡国行
收藏
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短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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波长延伸(1.7~2.7μm)InGaAs高速光电探测器的研制
期刊论文
OAI收割
红外与激光工程, 2008, 期号: S3
张永刚
;
顾溢
;
王凯
;
李成
;
李爱珍
;
郑燕兰
收藏
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