中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页 机构 成果 学者
  
  1. CAS IR Grid
机构
采集方式
内容类型
发表日期
学科主题
筛选

浏览/检索结果: 共11条，第1-10条 帮助

条数/页： 排序方式：
应用于纳米制造的新型电子束抗蚀剂Calixarene的工艺研究 期刊论文  OAI收割
纳米技术与精密工程, 2009, 卷号: 7, 期号: 3, 页码: 4，275-278
作者:  谢常青;  安南;  刘明;  陈宝钦;  任黎明
  |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2010/06/01
电子束光刻在纳米加工及器件制备中的应用 期刊论文  OAI收割
微纳电子技术, 2008, 卷号: 45, 期号: 12, 页码: 6，683-688
作者:  任黎明;  徐秋霞;  王琴;  谢常青;  朱效立
  |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2010/05/27
电子束光刻制备5000 line／mm光栅掩模关键技术研究 期刊论文  OAI收割
微细加工技术, 2008, 期号: 4, 页码: 3，4-5,13
作者:  朱效立;  谢常青;  赵珉;  陈宝钦;  叶甜春
  |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2010/05/27
200nm栅长In0.52Al0.48As/In0.6Ga0.4As MHEMTs器件 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2008, 卷号: 29, 期号: 9, 页码: 3，1679-1681
作者:  黎明;  张海英;  徐静波;  付晓君
  |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2010/05/27
高线密度X射线透射光栅的制作工艺 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2007, 卷号: 28, 期号: 12, 页码: 5,2006_2010
作者:  陈宝钦;  叶甜春;  赵珉;  姜骥;  张庆钊
  |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/05/26
软X射线干涉光刻相关技术研究 学位论文  OAI收割
博士, 上海应用物理研究所: 中国科学院上海应用物理研究所, 2005
朱伟忠
收藏  |  浏览/下载：128/0  |  提交时间：2012/04/11
一种提取电子束光刻中电子散射参数的新方法 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 5，455-459
作者:  康晓辉;  李志刚;  刘明;  谢常青;  陈宝钦
  |  收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2010/05/26
纳米级精细线条图形的微细加工 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2004, 卷号: 25, 期号: 12, 页码: 1722-1725
作者:  黄如;  任黎明;  王文平;  陈宝钦;  周毅
  |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2010/05/26
电子束散射角限制投影光刻掩模研制 期刊论文  OAI收割
光电工程, 2004, 卷号: 31, 期号: 4, 页码: 13-16
作者:  杨清华;  董立军;  李兵;  陈宝钦;  刘明
  |  收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2010/05/26
纳米级电子束直写曝光的基础工艺 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2003, 卷号: 24, 期号: B05, 页码: 3，226-228
作者:  陆晶;  刘明;  陈宝钦;  王云翔;  龙世兵
  |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2010/05/25